판매용 중고 CYMER XLA 165 #9268785

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CYMER XLA 165
판매
제조사
CYMER
모델
XLA 165
ID: 9268785
Laser 24H Lens N2 Purge.
CYMER XLA 165는 다양한 산업에서 초고정밀 미세 구조 생산을 위해 설계된 최첨단 엑시머 레이저 (excimer laser) 입니다. 이 강력한 레이저는 염소 또는 플루오린 원자를 함유하는 크세논 클로라이드 (XeCl) 또는 크립톤 플루오라이드 (KrF) 엑시머 가스를 사용합니다. 이 특수 엑시머 가스를 사용하면 레이저가 짧은 파장 자외선 (UV) 광을 생성 할 수 있으므로 미세한 수준에서 재료를 정확하게 조작 할 수 있습니다. XLA 165 는 스캔 범위 전반에 걸쳐 독보적인 빔 품질 (beam quality) 과 전력 안정성을 제공하여 매우 정확하고 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. CYMER XLA 165는 100 와트에서 400 와트 이상의 출력을 생산할 수 있으며, 광범위한 처리 요구 사항을 편안하게 충족합니다. 펄스 길이는 1 나노 초 (ns) 미만에서 10 ns 이상까지 다양하게 사용할 수 있습니다. 방출 된 빛의 파장은 193 ~ 351 나노 미터 (nm) 범위의 조절이 가능하며, 이는 광범위한 다재다능성에 기여하는 요소입니다. XLA 165 는 소전기 구성 요소 (microelectronic component) 의 패턴화 및 처리에 최적화되었지만, 폴리머, 특수 안경, 실리콘 웨이퍼 등 다양한 재료를 처리할 수 있습니다. CYMER XLA 165는 가장 가혹한 환경 조건을 견딜 수있는 견고한 Pulsed Solar TM 레이저 하우징을 사용합니다. 이것 은 "레이저 '가 내부 의 민감 한 구성 요소 를 손상 시키지 않고도 매우 다양 한 산업 환경 에서 작동 할 수 있게 해준다. XLA 165의 매니 폴드에는 수냉식 부품 (water cooling component) 과 생성 된 레이저 배기의 효율적인 냉각을위한 가스 관리 시스템 (gas management system) 이 장착되어 있습니다. 이 냉각 시스템은 모듈식이며, 유지 보수가 낮고 효율적입니다. CYMER XLA 165는 또한 공정 정확성과 적절한 레이저 작동을 위해 고급 프로세스 진단 및 QA (품질 보증) 기능을 제공합니다. XLA 165 는 Laser 의 작동에 대한 피드백 (feedback) 및 데이터 (data) 를 시중의 다른 어떤 엑시머 레이저보다 많이 제공하므로 엔지니어가 손쉽게 문제를 해결하고 생산적인 프로세스를 유지할 수 있습니다. 결론적으로 CYMER XLA 165는 엄청나게 강력한 엑시머 레이저입니다. 특유의 강력한 엑시머 가스 (excimer gas), 최고 수준의 빔 품질 (beam quality), 조절 가능한 출력 능력, 다양한 파장 및 고급 프로세스 진단이 결합되어 미세 구조의 제작 및 프로토 타입을위한 뛰어난 옵션입니다. 내구성 있는 "레이저 '주택 및 냉각 부품 은 또한 XLA 165 가 여러 가지 어려운 산업 환경 에서 사용 하기 에 적합 하다.
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