판매용 중고 CYMER XLA 165 #293734459
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ID: 293734459
Laser
LNM (Line Narrowing Module)
WSM (Wavelength Stabilization Module)
Chamber
Does not include Hard Disk Drive (HDD).
CYMER XLA 165는 다양한 산업에서 초고정밀 미세 구조 생산을 위해 설계된 최첨단 엑시머 레이저 (excimer laser) 입니다. 이 강력한 레이저는 염소 또는 플루오린 원자를 함유하는 크세논 클로라이드 (XeCl) 또는 크립톤 플루오라이드 (KrF) 엑시머 가스를 사용합니다. 이 특수 엑시머 가스를 사용하면 레이저가 짧은 파장 자외선 (UV) 광을 생성 할 수 있으므로 미세한 수준에서 재료를 정확하게 조작 할 수 있습니다. XLA 165 는 스캔 범위 전반에 걸쳐 독보적인 빔 품질 (beam quality) 과 전력 안정성을 제공하여 매우 정확하고 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. CYMER XLA 165는 100 와트에서 400 와트 이상의 출력을 생산할 수 있으며, 광범위한 처리 요구 사항을 편안하게 충족합니다. 펄스 길이는 1 나노 초 (ns) 미만에서 10 ns 이상까지 다양하게 사용할 수 있습니다. 방출 된 빛의 파장은 193 ~ 351 나노 미터 (nm) 범위의 조절이 가능하며, 이는 광범위한 다재다능성에 기여하는 요소입니다. XLA 165 는 소전기 구성 요소 (microelectronic component) 의 패턴화 및 처리에 최적화되었지만, 폴리머, 특수 안경, 실리콘 웨이퍼 등 다양한 재료를 처리할 수 있습니다. CYMER XLA 165는 가장 가혹한 환경 조건을 견딜 수있는 견고한 Pulsed Solar TM 레이저 하우징을 사용합니다. 이것 은 "레이저 '가 내부 의 민감 한 구성 요소 를 손상 시키지 않고도 매우 다양 한 산업 환경 에서 작동 할 수 있게 해준다. XLA 165의 매니 폴드에는 수냉식 부품 (water cooling component) 과 생성 된 레이저 배기의 효율적인 냉각을위한 가스 관리 시스템 (gas management system) 이 장착되어 있습니다. 이 냉각 시스템은 모듈식이며, 유지 보수가 낮고 효율적입니다. CYMER XLA 165는 또한 공정 정확성과 적절한 레이저 작동을 위해 고급 프로세스 진단 및 QA (품질 보증) 기능을 제공합니다. XLA 165 는 Laser 의 작동에 대한 피드백 (feedback) 및 데이터 (data) 를 시중의 다른 어떤 엑시머 레이저보다 많이 제공하므로 엔지니어가 손쉽게 문제를 해결하고 생산적인 프로세스를 유지할 수 있습니다. 결론적으로 CYMER XLA 165는 엄청나게 강력한 엑시머 레이저입니다. 특유의 강력한 엑시머 가스 (excimer gas), 최고 수준의 빔 품질 (beam quality), 조절 가능한 출력 능력, 다양한 파장 및 고급 프로세스 진단이 결합되어 미세 구조의 제작 및 프로토 타입을위한 뛰어난 옵션입니다. 내구성 있는 "레이저 '주택 및 냉각 부품 은 또한 XLA 165 가 여러 가지 어려운 산업 환경 에서 사용 하기 에 적합 하다.
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