판매용 중고 CYMER XLA 160 #194711

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제조사
CYMER
모델
XLA 160
ID: 194711
Laser for Canon AS3/AS4 Specifications: Wavelength: 193nm Average output power: 45W Pulse energy: 11.25mj Max. rep rate: 4000 Hz Bandwidth (FWMH): <0.25pm 2003 vintage.
CYMER XLA 160은 ASML Holding NV의 자회사 인 CYMER, Inc.가 설계하고 제작 한 고출력 펄스 레이저이며 반도체 리소그래피에 사용되는 세계 최대의 광원 공급 업체입니다. CYMER XLA160 (CYMER XLA160) 은 긴 수명 동안 고급 안정성 특성과 뛰어난 밝기를 제공하도록 설계된 다이오드 펌핑 된 올 파이버 레이저입니다. 최대 100kHz 펄스 반복 속도로 단일 펄스 모드에서 최대 160mJ 또는 26W 펄스 에너지를 생성 할 수 있습니다. XLA 160에서 발견 된이 기술은 분산 브래그 리플렉터 (DBR) 및 클래딩 펌핑 된 파이버 레이저 (CPFL) 아키텍처를 모두 활용합니다. 레이저의 빔 품질은 단일 모드 이득 (single-mode gain) 섹션을 통합하여 빔 프로파일 (beam profile) 과 각도 분포 (angular distribution) 를 향상시켜 더욱 향상되었습니다. 이 기능들은 레이저의 대형 M2 (M2) 와 함께, 복잡한 리소그래피 솔루션을 제공 할 정도로 안정적이고 안정적인 광원을 만듭니다. XLA160 은 높은 에너지 수준 및 엄격한 안정성 요구 사항에 대한 업계 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 긴 수명 동안 정밀 하고 일관성 있는 "펄스 '" 에너지' 를 유지 하는 능력 은 고급 석판 인쇄 분야 의 "에너지 '들 에게 매우 귀중 하다. 특히, 집적 회로 설계 의 특징 들 이 계속 줄어들기 때문 에 그러하다. CYMER XLA 160은 향상된 대역폭과 펄스 투 펄스 안정성 (Pulse-to-Pulse Stability) 을 제공하여 고급 리소그래피 응용 프로그램의 주도력을 향상시킵니다. CYMER XLA160은 우수한 신뢰성과 규모로 레이저 시장에서 인기있는 선택입니다. 그것 은 길이 가 250 "밀리미터 '에 불과 한" 콤팩트' 한 "디자인 '으로 기존 의" 레이저' 주택 에 쉽게 맞는다. XLA 160은 열적으로 안정적이며, 독점 열 관리 및 클램핑 (clamping) 기술을 활용하여 주변 온도 변화에 관계없이 최적의 성능을 유지합니다. XLA160 은 견고하고 안정적인 레이저일 뿐만 아니라 비용 효율적입니다. CYMER XLA 160은 안정적인 출력 성능과 안정성이 뛰어난 플랫폼을 통해, 비용이 많이 드는 예비 (spare) 을 필요로 하지 않으므로, 관리 작업을 간소화하고 운영 비용을 절감할 수 있습니다. 전반적으로 CYMER XLA160 (CYMER XLA160) 은 석판화 시장에 여러 가지 강력한 기능을 제공하는 고급 레이저입니다. 고성능 펄스 에너지, 경로 길이 잠금 아키텍처, 뛰어난 빔 품질 및 각도 분포, 신뢰할 수있는 긴 수명 등을 제공합니다. 또한, 비용 효율적인 디자인과 연계 된 탁월한 열 관리 및 정확성 (CS) 은 XLA 160을 리소그래피의 고급 기능을 추구하는 사람들에게 매력적인 선택으로 만듭니다.
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