판매용 중고 CYMER EX-5700 #9106784

CYMER EX-5700은 제조용으로 설계된 고급 엑시머 레이저 장비입니다. 반도체 업계의 다양한 사진 (photolithography) 프로세스에 탁월한 성능과 탁월한 처리량을 제공합니다. 시스템은 전원 공급 장치, 레이저 헤드, 빔 전달 광학, 웨이퍼 처리 장치로 구성됩니다. 레이저 헤드 (Laser Head) 는 고급 산업 등급 설계를 기반으로하며 가스 소비량, 고효율, 수명이 길다. 193nm 파장 방사선의 고속, 확산 빔을 생성하는 500 와트 RF 발전기로 구동됩니다. 그런 다음, 이 방사선 은 일련의 회절 격자 와 초점 "렌즈 '를 통과 하여" 빔' 을 정련 하고 "웨이퍼 '로 향하게 된다. 빔 전달 광학은 고품질 소재로 만들어졌으며, 낮은 반사 및 높은 전송 특성을 특징으로합니다. 이를 통해 UV 표시등이 제대로 초점을 맞추고 처리량을 극대화할 수 있습니다. 초점은 동력 서보를 사용하여 원격으로 조정 할 수도 있습니다. 웨이퍼 처리 기계는 로봇 하중 잠금, 고정밀 스테이지 및 특수 3 점 정렬 도구로 구성됩니다. 이 도구는 직경이 최대 6 "인 웨이퍼를 처리하고 200 나노미터의 공차 내에 정확하게 배치 할 수 있습니다. CYMER EX 5700 (CYMER EX 5700) 은 매우 빠른 속도로 실행되지만 리소그래피 프로세스의 무결성은 유지합니다. 또한 신뢰성이 높으며 최소한의 유지 보수가 필요합니다. 레이저 셔터, 경보 및 인터 록과 같은 여러 안전 기능도 포함됩니다. 이러한 기능은 모두 결합하여 EX-5700을 매우 강력하고 안정적인 기계로 만듭니다.