판매용 중고 CYMER EX 4000A #9015366

CYMER EX 4000A는 최신 반도체 제작 공정을 위해 설계된 펄스 엑시머 레이저입니다. 이 고성능 레이저는 파장 248nm에서 깊은 자외선 (DUV) 방사선을 제공합니다. 그것은 ablation, lithography 및 cleaning 작업을 수행 할 수 있으며, 에칭, 마킹, 절단과 같은 photolithography 프로세스에서 필수 구성 요소입니다. 이 장비는 저전압, 고효율 펄스 모듈로 구동되어 1 평방 센티미터 당 최대 61 줄의 에너지를 제공합니다. 이 고출력 출력은 고에너지 광 분리 (photodissoration) 및 후속 완화를 가능하게하여 우수한 프로세스 결과를 제공합니다. 뛰어난 빔 프로파일과 펄스 투 펄스 에너지 안정성 (pulse-to-pulse energy stability) 을 통해 안정적이고 균일 한 제거 성능을 통해 매우 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 빔의 균일 성은 굴절률이 1.4 미만이고 발산이 4 mrad 미만인 80% 보다 높습니다. 이 시스템에는 셔터리스 (shutterless) 작업을 활성화하는 내부 및 외부 셔터가 포함되어 있습니다. 이 장치에는 클로즈드 루프 간섭계 (closed-loop interferometric control) 를 제공하는 통합 헬륨-네온 레이저 간섭계가 포함되어 있어 정확한 펄스-펄스 반복성을 보장합니다. 이것은 ablation 작업에 정확성을 제공합니다. 저소음 생성기 (Low-Noise Generator) 는 짧은 통합 시간에 명확한 판독을 위해 간섭과 원치 않는 모호성을 줄입니다. 또한 488 nm USB, 9 핀 RS-232 직렬 포트 및 현대화 된 입력을위한 EtherCAT EtherNet/IPTM 인터페이스와 같은 다양한 인터페이스 옵션이 포함되어 있습니다. EX 4000A 의 높은 신뢰성과 견고성은 오랜 기간 동안 효율적인 현장 운영을 가능하게 합니다. 또한 다양한 현장 (on-site) 스페어 및 액세서리를 사용하여 도구의 성능을 향상시킬 수 있습니다. 이 자산에는 설치와 작동을 간단하고 번거롭지 않은 사용자 친화적 인 인터페이스가 포함되어 있습니다. 또한, 이 장치는 서비스 플랫폼의 도움으로 원격으로 서비스 될 수 있습니다. 전반적으로 CYMER EX 4000A 레이저는 최신 반도체 제작 공정을 위해 특별히 설계된 고급 레이저 모델입니다. 강력한 성능, 안정적인 작동, 뛰어난 빔 품질을 제공하여 매우 정확한 작동을 지원합니다. 광범위한 인터페이스 (interface) 옵션을 통해 간편한 운영 및 유지 관리를 보장하고, 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 간편한 설치/운영을 촉진할 수 있습니다.