판매용 중고 CYMER ELS 6400 #9271083

CYMER ELS 6400은 정밀 사진 해설에 사용되는 펄스 염료 레이저입니다. 다이오드 펌핑 된 솔리드 스테이트 레이저 기술을 사용하여 200 femtosecond에서 펄스를 생성하여 높은 처리량과 일관된 결과를 제공합니다. "펄스 '의" 에너지' 는 최대 4 "kHz '의 더 높은 반복율 을 사용 함 으로써 더욱 증가 된다. 이는 레이저 빔 (laser-beam-induced subsurface) 가열의 영향을 최소화하면서 원하는 인쇄 해상도를 달성하는 데 도움이됩니다. CYMER ELS-6400 (CYMER ELS-6400) 은 혁신적인 듀얼 빔 구성을 제공하여 장치 기판의 두 위치에 동시 리소그래피를 허용합니다. 즉, 고속 이미징 프로세스가 더 높은 처리량을 위해 병렬로 발생할 수 있습니다. 이것 은 또한 "레이저 '광선 이 기판 의 특이 한 표면" 레이아웃' 에 기초 한 정확성 을 위해 세밀 하게 조정 되기 때문 에 더 많은 정확도 를 허용 한다. 또한, 이 장비는 매우 작은 기능을 인쇄할 수 있는 뛰어난 인쇄 프로파일 (print profile) 과 기능을 제공하는 고정밀 스팟 크기 제어 기능을 제공합니다. 레이저는 특허를 받은 다층 디더링 에너지 (dithered-energy) 전달 시스템을 사용하는데, 이는 효율성이 높으며, 단일 스트림 (single-stream) 시스템에 비해 향상된 동적 범위와 더 빠른 속도를 제공합니다. 이렇게 하면 레이저 소스 변동성을 줄이고, 리소그래피 결과를 개선하고, 인쇄 수율을 늘릴 수 있습니다. 뿐 만 아니라, 이 장치 는 각 "펄스 '에 필요 한" 에너지' 가 적기 때문 에 "레이저 '원 의 수명 을 연장 하는 데 도움 이 된다. ELS 6400 에는 시스템 작동을 제어하기 위한 소프트웨어 툴이 함께 제공됩니다. 이렇게 하면 공구가 제대로 설정되어 있는지, 리소그래피 (lithography) 프로세스를 통해 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 이 에셋은 최상의 이미지 해상도와 결과를 지속적으로 얻기 위해 자동화된 초점 조정 (focus-adjust) 모델을 갖추고 있습니다. 게다가, "레이저 '는 활동적 인" 레이저' 안전 대책 을 강조 하는 것 을 포함 하여 광범위 한 안전 기능 을 가지고 있다. 이 장비 는 "레이저 '가 운전자 에게 노출 되는 것 을 제한 하는 여러 가지 방법 을 사용 하고 있는데, 그 중 에는 운전자 와" 인터록' 에 대한 보호 "아이웨어 '가 포함 된다. "레이저 '는" 레이저' 가 "레이저 '의 위험 을 최소화 하거나" 시스템' 사용자 들 에게 해 를 입히는 방법 으로 작동 하도록 한다. 전반적으로 ELS-6400은 정밀 사진 해설을 위해 강력하고, 안정적이며 안전한 레이저입니다. 탁월한 성능과 높은 처리량을 제공하며, 운영자의 정확성과 안전성을 보장합니다.