판매용 중고 CYMER ELS 6400 #9257275

CYMER ELS 6400은 반도체 장치 생산에 사용하도록 설계된 고성능 레이저 시스템입니다. 다양한 레이저 목표에서 더 짧고, 더 높은 전력 레이저 펄스를 생성 할 수있는, 신뢰할 수 있고, 견고하고, 강력한, 고출력 레이저 공급원입니다. CYMER ELS-6400은 다중 횡단 빔 방출 체계를 특징으로하며, 최대 8 개의 레이저 대상 영역에서 단일, 이중 또는 3 중 펄스를 생성 할 수 있습니다. 이를 통해 지원 범위가 우수하고 처리 품질이 향상됩니다. 레이저는 CW (Continuous Wave) 또는 펄스 (Pulsed) 모드로 작동하며, 조정 가능한 펄스 위드로 넓은 범위에서 출력 전력을 조정할 수 있습니다. 펄스 지속 시간은 높은 감도 응용에 맞게 조정될 수 있으며, 펄스를 1 피코 초 (1 x 10-12 초) 까지 생성 할 수 있습니다. 엘스 6400 (ELS 6400) 은 처리량을 높이고 수율을 높일 수 있는 고광학 출력 (Optical Power Output) 을 포함하여 다양한 고급 기능을 제공합니다. 또한 높은 레이저 정확도를 유지하기 위해 과열/과전압 보호 및 레이저 인터록 (Laser-Interlock) 과 같은 여러 가지 고급 안전 기능이 통합되어 있습니다. "레이저 '는" 오버레이' 보정, 정확 한 노출 교정, 두꺼운 광저항 층 의 제거, 광저항 층 의 정밀 건조 에칭 등 여러 가지 응용 분야 에 적용 될 수 있다. ELS-6400은 높은 평균 전력, 정밀 타이밍을 제공 할 수있는 다이오드 펌핑, 솔리드 스테이트 플랫폼을 기반으로합니다. 레이저에는 광섬유 결합 레이저 헤드 (fiber-coupled laser head) 가 포함되어 있어 정확한 빔 포인팅 및 위치를 보장하며, 실제 레이저 펄싱의 활성화/비활성화/지연을 위한 펄스 피커 (pulse picker) 와 조절 가능한 디스플레이 요소가 있습니다. CYMER ELS 6400에는 내장 진단 기능과 원격 제어를 위한 USB 동글 인터페이스가 장착되어 있습니다. 이 다용도 레이저 시스템은 TCO (총소유비용) 를 낮추면서도 깨끗하고, 효율적이며, 정확한 성능을 제공합니다. 이 기계는 작동이 쉽고 신뢰성이 뛰어나므로, 생산 라인에 이상적인 솔루션이 됩니다.