판매용 중고 CYMER ELS 6300 #154882

CYMER ELS 6300은 반도체 장치 제작, 평면 패널 디스플레이 (Flat Panel Display) 생산 및 고급 리소그래피와 같은 고급 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 사용되는 고출력 엑시머 레이저입니다. 이 레이저는 대용량, 대용량 프로세싱에 사용하도록 설계되었으며, CYMER 이 제공하는 ELS 시리즈 중 가장 강력한 제품입니다. 6300은 광학적으로 펌핑 된 타이밍 된 펄스 레이저 (pulsed laser) 로 구성되며, 맥박 당 300 mJ의 에너지 수준을 갖는 Ar-F 레이저 가스 혼합물로 구동됩니다. 이 빔은 구형 및 원통형 렌즈 및 디플렉터 (deflector) 의 결합을 사용하여 초점 왜곡없이 부드러운 전이를 위해 열린 조합 광학 장비를 통해 생산됩니다. 최대 20W/cm2의 출력 전력 밀도로 인해 깨끗한 리소그래피 패턴과 빠른 생산 라인이 생성됩니다. 이 "레이저 '는 또한 낮은" 펄스' "에너지 '설정 에서 신속 히 제거 할 수 있어서" 에칭' 및 증착 "응용프로그램 '에서 더 높은 처리 처리량 을 가능 케 한다. 특허받은 6300의 고급 펄스 타이밍 제어 기술 인 열 제어 시스템 (Thermal Control System) 은 특수 알고리즘을 통해 더 큰 피크 파워 제어를 가능하게하며 압력, 온도, 레이저 장치 안정성과 같은 중요한 환경 요소를 고려합니다. 이 레이저는 또한 +/-0.5mJ 내에서 뛰어난 빔 모양의 정확성과 균일성을 제공하는 내장 MEMS 기반 빔 안정성을 갖추고 있습니다. 또한 간편하고 직관적인 유지 보수 기능을 통해 운영 속도를 높이고 다운타임을 줄일 수 있습니다. 사용자는 내장 이더넷 연결을 사용하여 설정을 원격으로 조정하고 업데이트할 수 있습니다. ELS 6300 은 CE 인증을 받았으며 ISO 인증을 받았으며, 고급 웨이퍼 처리 어플리케이션을 위한 안정적이고 안정적인 선택입니다. 다양한 고급 기능 (Advanced Features) 과 안정적인 성능을 갖춘 이 제품은 현재 시판되고 있는 최고의 레이저 시스템 중 하나입니다.