판매용 중고 CYMER ELS 5410 #9257268

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CYMER ELS 5410
판매
제조사
CYMER
모델
ELS 5410
ID: 9257268
Laser system.
CYMER ELS 5410은 오늘날 반도체 제조 환경의 가장 까다로운 요구를 처리하도록 설계된 강력한 레이저 기반 장비입니다. 이 시스템은 최적의 처리량 및 최적의 재료 제거 속도를 위해 레이저 소스의 펄스별 (pulse-by-pulse) 제어를 사용합니다. 이 장치는 운영과 유지 보수가 용이한 안정적인 산업 등급 플랫폼 (stable, industrial-grade platform) 에 구축되었습니다. 절대 수준의 동작 제어를 위한 정밀도 선형 모터 (뛰어난 정확도와 반복 가능성) 가 포함되어 있습니다. CYMER ELS-5410은 또한 정확한 빔 전달을 보장하기 위해 프로그레시브 스캔 머신을 갖추고 있습니다. ELS 5410의 큰 X, Y 및 Z 여행은 가장 어려운 레이저 프로세스에 이상적입니다. 이 도구의 레이저 소스 (laser source) 는 다양한 재료를 수용하는 동안 가장 높은 활용도와 가동 시간을 제공하도록 설계되었습니다. "레이저 '원 의" 펄스' 동력 은 쉽게 조절 할 수 있어서 재료 제거율 을 최적화 하고, 공정 창 을 더 잘 활용 하고, "펄스 '반복 속도 를 조절 하여 열" 드리프트' 를 최소화 할 수 있다. ELS-5410 의 통합 제어 자산 (Integrated Control Asset of ELS-5410) 은 모든 범위의 레이저 하드웨어 및 로봇과 원활하게 작동하며, 자동화된 환경에서 사용하기에 적합합니다. 이 모델에는 프로그래밍 프로세스 단계를 위한 직관적인 GUI 가 포함되어 있으며, 사용자 정의 매개변수를 신속하게 업데이트할 수 있습니다. 안전은 항상 관심사이며, CYMER ELS 5410은 밀봉형 레이저 작동, 비상 연동 시스템 및 쿼츠 차폐 창 (quartz shielding window) 과 같은 기능을 통해 주요 고려 사항을 해결합니다. "레이저 '장비 의 전기 안전 은 산업 용도 의" 레이저' 에 대한 현 독일 및 "유럽 '의 표준 을 준수 하도록 인증 되었다. 전반적으로, CYMER ELS-5410 레이저는 반도체 제조업체에 가장 어려운 응용 분야를 위해 안정적이고 신뢰할 수있는 도구를 제공합니다. 높은 전력, 정밀도, 광범위한 프로세스 매개변수 (process parameter) 및 강력한 안전 기능으로 인해 오늘날 최고의 산업 레이저 시스템 중 하나입니다.
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