판매용 중고 CYMER ELS 5410 #9145747

CYMER ELS 5410은 고성능 엑시머 레이저 장비입니다. "레이저 '광선 을 조작 하여 정밀" 레이저' 처리 를 하기 위한 여러 가지 옵션 을 제공 하는 자동화 된 구성 이다. 이 시스템의 독특한 특징은 단일 공정을 위해 여러 개의 레이저 빔 (laser beam) 을 전환하는 기능으로, 더 높은 에너지, 안정성, 더 많은 펄스가 필요한 응용 프로그램을 제공합니다. CYMER ELS-5410은 반도체 및 기타 관련 산업에서 웨이퍼 머시닝, 결함 검사, 포장 등 다양한 작업에 널리 사용됩니다. ELS 5410은 강력한 전원 공급 장치 설계를 통해 안정성을 극대화하고 성능을 일관되게 유지합니다. 고정 미러 모듈 (Stationary Mirror Module), 에너지 제어 하드웨어 및 제공된 동작 제어 장치 (Motion Control Unit) 를 활용하여 정확하고 효율적인 작업을 수행합니다. 이 기계는 또한 더 나은 펄스 신장 제어, 향상된 펄스 균일성 및 오버 드라이브 기능을 제공합니다. 제어 소프트웨어는 레이저 파장, 펄스 파워, 빔 도형을 정확하고 반복적으로 제어합니다. ELS-5410은 200ns 펄스 너비, 2kHz 펄스 속도, 가변 PRF 및 최대 1000Hz PRF를 제공합니다. 매끄럽고 안정적인 출력은 펄스-펄스 변화를 줄이고 펄스 규칙성과 안정성을 최적화합니다. 레이저 도구는 특정 응용 요구 사항에 맞게 0.25-jm 또는 0.15-jm 라인 너비로 구성 될 수도 있습니다. 이 고성능 자산은 여러 가지 절단 전략과 함께 제공되며, 까다로운 일자리를 수용하기 위한 조정 가능한 초점이 마련되어 있습니다. 또한 더 복잡한 프로세스를 위해 다양한 빔 프로파일 (beam profile) 및 에너지 최적화 기능을 제공합니다. 내장형 진공 챔버 (vacuum chamber) 를 사용하면 재료를 올바르게 배치하고 제자리에 고정하여 보다 정확한 작업을 수행할 수 있습니다. CYMER ELS 5410의 견고한 설계로 열, 먼지 및 기타 환경 요인에 견딜 수 있습니다. 고급 알고리즘은 다운타임과 유지 관리를 최소화하면서 안정적인 운영을 보장합니다. 뛰어난 품질 관리 옵션과 더 적은 Off-Spec 결과를 지닌 매우 안정적인 장비입니다. 전체적으로, CYMER ELS-5410은 고급 고성능 엑시머 레이저 시스템으로, 레이저 처리가 빠르고 효율적입니다.