판매용 중고 CYMER ELS 5410 #293650404
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CYMER ELS 5410은 일반적으로 DUV (deep-자외선) 리소그래피 응용 분야에 사용되는 반도체 다이오드 레이저입니다. 레이저는 펄스 너비 10 ns, 최대 펄스 에너지 40 mJ의 248 nm 파장에서 펄스 방사선을 제공 할 수 있습니다. "레이저 '는 방출 효율성 과 긴 수명 주기 를 향상 시킨, 매우 신뢰 할 만한 설계 를 갖추고 있다. "레이저 '는 양자활성재 를 이용 하여 안정적 인 작동 을 보장 하고, 고출력" 레벨' 에서 안정적 으로 작동 하도록 설계 되었다. CYMER ELS-5410은 빔 발산이 높고 광학 정렬 안정성이 뛰어나 리소그래피 애플리케이션에 적합합니다. 1 kHz ~ 50 kHz의 광범위한 출력 능력과 펄스 반복 주파수를 통해 ELS 5410은 광범위한 응용 프로그램을 다룹니다. 또한, 레이저는 피드백 제어를위한 내장 펄스 이온 챔버 (pulsed ion chamber) 와 온도 관리를위한 고안정 온도 컨트롤러 (high-stability temperature controller) 를 갖추고 있습니다. ELS-5410은 20 ° C ~ 40 ° C 범위의 온도에서 작동 할 수 있으며, 레이저의 공동은 열 충격의 영향을 최소화하도록 설계되었습니다. pulse-on-demand 작업은 레이저를 정확하게 조정하여 일관된 출력을 제공 할 수 있습니다. CYMER ELS 5410은 리소그래피 응용 프로그램에 적합한 안정적이고 견고한 레이저입니다. 레이저의 긴 수명주기 및 출력 안정성은 IC 제작 (IC fabrication) 및 PCB 테스트 (PCB testing) 와 같은 광범위한 산업 애플리케이션에 적합합니다. 또한 CYMER ELS-5410은 최신 안전 및 환경 표준을 준수하므로 클린 룸 (cleanroom) 환경에서 사용할 수 있습니다.
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