판매용 중고 CYMER ELS 5410 #293650402

제조사
CYMER
모델
ELS 5410
ID: 293650402
Laser.
CYMER ELS 5410은 안정적이고, 비용 효율적이며, 고성능 레이저 마이크로 머시닝을 제공하도록 설계된 펄스 엑시머 레이저입니다. 이 레이저는 산업 및 연구 용도에 적합하며 0.1 ~ 300mJ/cm2 범위의 유창한 248nm 파장에서 자외선을 생성 할 수 있습니다. CYMER ELS-5410에는 xNET High-Speed Pulse Control Network 및 BeamSynchWaveform으로 구성된 혁신적인 펄스 엔지니어링 시스템이 장착되어 있어 정확하고 반복 가능한 마이크로 머시닝이 가능합니다. 이 시스템을 사용하면 최적의 결과를 얻기 위해 레이저 펄스의 파장, 펄스 지속 시간, 빔 방향, 번칭 및 용량 (bunching and dosage) 을 선택할 수 있습니다. 레이저에는 확장 가능하고 재구성 가능한 광학 트레인 (optical train) 이 장착되어 있으며, 이를 통해 사용자는 초점 크기 (focal spot size) 와 초점 깊이 (depth of focus) 와 같은 작업 매개변수를 변경할 수 있으므로 마이크로 머시닝 중 반복성과 정확성이 향상됩니다. ELS 5410 은 또한 매우 견고한 기계식 프레임 (mechanical frame) 을 갖추고 있어 열 안정성을 향상시켜 안정적이고 일관성 있는 성능을 제공합니다. 또한, 이 레이저에는 키패드 잠금 장치 (keypad lock), 눈 안전 다이오드 탐지기 (eye safe diode detector) 및 원격 연동 시스템 (remote interlock system) 을 포함한 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이 레이저는 또한 관련 국제 안전 기관의 안전 표준을 충족합니다. 요약하면, ELS-5410은 조정 가능한 펄스 매개변수, 확장 가능하고 재구성 가능한 광학 열차, 향상된 안전 기능을 갖춘 고출력, 고급 엑시머 레이저입니다. 이 레이저는 정확성과 반복성이 필수적인 산업 및 연구 응용에 적합합니다.
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