판매용 중고 CYMER ELS 5410 #293602395

CYMER ELS 5410
제조사
CYMER
모델
ELS 5410
ID: 293602395
KrF Laser.
CYMER ELS 5410은 고 에너지, 짧은 펄스 레이저 공정으로 유명한 Excimer 레이저 장비입니다. 반도체 사진 해설법, 디스플레이 어닐링, FPD (Flat-Panel Display), 액정 디스플레이 제작, 고급 재료 처리 및 마이크로 머시닝 작업 등 다양한 응용 분야에 이상적인 선택입니다. CYMER ELS-5410에는 공랭식, 수동적으로 안정화 된 레이저 디자인이 개선 된 노즐이 있습니다. 이 고급 디자인은 1Hz에서 최대 2000mJ의 펄스 에너지와 2.5 ~ 10ns의 펄스 너비를 제공합니다. ELS 5410은 세라믹, 폴리머, 유리, 금속 등 다양한 재료에 대한 높은 처리량을 통해 안정적이고 일관된 처리를 지원합니다. "레이저 '는 대량 생산 능력 을 가진" 레이저' 공정 을 보장 하기 위하여 신속 하고 반복 할 수 있는 자동화 된 "레이저 '출력 제어 를 갖추고 있다. ELS-5410은 안정적이고 강력한 레이저 소스입니다. 첨단 레이저 설계 (Advanced Laser Design) 는 다양한 프로세스 조건에서 높은 레이저 안정성과 반복성을 보장하므로 복잡한 외부 제어 시스템 (External Control System) 이 필요하지 않습니다. CYMER ELS 5410의 자체 제어 장치는 물리학을 기반으로하며, 펄스 모양과 펄스 에너지의 정확성을 제공하며, 펄스 길이 (pulse length) 와 펄스-펄스 (pulse-to-pulse) 불안정성의 전체 제어를 제공합니다. 이 고급 레이저 제어 머신은 낮은 pulse-to-pulse constancy 및 high beam profile stability와 같은 고급 성능 매개 변수를 통해 높은 처리 처리량 및 반복 가능성을 제공합니다. CYMER ELS-5410은 펄스 모양 설정, 주파수 및 펄스-펄스 지연을 포함한 고급 레이저 매개변수 설정 기능을 갖춘 디지털 레이저 인터페이스를 갖추고 있습니다. 고급 인터페이스 (Advanced interface) 를 통해 레이저 매개변수와 성능 특성을 완벽하게 제어할 수 있으므로 레이저 성능을 쉽고 일관되게 최적화할 수 있습니다. ELS 5410 은 고급, 신뢰성이 뛰어난 레이저 소스로, 최고의 성능과 프로세스 반복성을 제공합니다. 레이저 툴에는 고급 사용자 인터페이스 (Advanced User Interface) 가 장착되어 있어 레이저 매개변수를 최적으로 제어할 수 있으며, 반도체, 의료, 분광형 산업 전반에 걸쳐 광범위한 응용이 가능합니다. ELS-5410 은 설치가 단순화되도록 설계되었으며, 최소 수준의 유지 보수가 필요하며, 탁월한 안정성과 견고성으로 인해 다운타임이 최소화됩니다.
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