판매용 중고 CYMER ELS 5405 #9251523

CYMER ELS 5405
제조사
CYMER
모델
ELS 5405
ID: 9251523
빈티지: 1997
System 1997 vintage.
CYMER ELS 5405는 정밀 레이저 제거 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 5 세대 엑시머 레이저입니다. 지금까지 생산 된 가장 강력하고 신뢰할 수있는 엑시머 레이저 소스 중 하나 인 200 와트, 5 kHz, 405 nm 제논-플루오 라이드 엑시머 레이저를 사용하는 고급 레이저 장비입니다. 이 레이저 (Laser) 는 이전 모델과 비교하여 뛰어난 강도 제어를 제공하여 사용자가 매우 정확하고 반복 가능한 ablation 깊이를 달성 할 수 있습니다. 또한 독특한 레이저 다이오드 모듈 (Laser Diode Module) 이 특징이며, 반복 가능한 저에너지 펄스를 생성하여 Ablation 프로세스의 정확성을 더욱 향상시킵니다. "레이저 '는 진공실 로 밀폐 되어 있어서 광학 안정성 과 효율성 을 높이고 정기적 인 유지 가 필요 하다. 각 "레이저 '펄스 (pulse) 의 유지 시간과 전원을 정확하게 제어하는 독특한 컴퓨터 제어 셔터 시스템을 갖추고 있다. 이로써, 동일한 기질에 걸쳐 매우 작은 범위의 변형을 갖는 정확한 ablation 깊이가 생성된다. 이 장치는 또한 엑시머 전달 빔 (excimer delivered beam) 의 스펙트럼 순도 및 에너지 균일성을 관리하여 일관된 절단 성능을 제공합니다. CYMER ELS5405는 현미경 목표, 레이저 성당, 펌핑 된 포토 마스크, 반사 광학 등 대부분의 광학 시스템과 함께 사용하도록 설계되었습니다. 또한 성능이 대폭 향상되어 매우 빠르고 복잡성이 낮은 다양한 레이저 스캐닝 (Laser Scanning) 애플리케이션을 사용할 수 있습니다. 여기에는 나노 초에서 128 x 128 해상도까지 스캔하는 것이 포함됩니다. 또한 기계는 쉬운 설치 및 작동을 제공합니다. 표준 제어 인터페이스 (control interface) 를 사용하면 레이저 매개변수를 빠르고 쉽게 설정하고 절단을 시작할 수 있습니다. 이 툴은 또한 원격 액세스를 추가하고, 사용자에게 에셋에 액세스하여 외부 제어 시스템 (external control system) 으로 제어할 수 있는 기능을 제공합니다. ELS-5405에는 레이저 인터 락, 셔터 모니터 및 빔 모니터와 같은 안전 기능도 포함되어 있습니다. 이러한 기능을 통해 사용자는 '사고' 를 최소화하면서 안전하게 '모델을 사용할 수 있습니다. 전반적으로, ELS 5405 레이저는 매우 고급적이고 안정적인 엑시머 레이저 제거의 원천입니다. 광범위한 기능, 하이엔드 성능, 탁월한 안전 측정 (Safety Measure) 을 통해 정밀 레이저 제거 어플리케이션을 위한 최적의 선택이 가능합니다.
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