판매용 중고 CYMER ELS 5400 #9300111

CYMER ELS 5400
제조사
CYMER
모델
ELS 5400
ID: 9300111
빈티지: 1997
KrF Laser 1997 vintage.
CYMER ELS 5400은 수리, 재 작업 및 NDI (none-destructive material inspection) 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 고성능 레이저 장비입니다. 시스템은 맥박 폭이 5ns 아래로 5400 mJ/다이오드 펌핑 된 Nd: YAG 레이저 소스로 구동됩니다. 최대 500 x 500 mm 시야의 고정밀 전동 XY 단계를 사용합니다. 이 장치는 CW 및 펄스 모드에서 410 nm ~ 532 nm의 광범위한 레이저 파장을 지원합니다. 정확성을 보장하기 위해 CYMER ELS-5400은 최대 10.9mJ의 동적 측정 범위를 가진 HiPER (Highly-Precise Intelligent Radiometry) 기계를 갖추고 있습니다. 이 도구에는 또한 BDA (beam diameter adjuster) 가 장착되어 있으므로 다른 응용 프로그램에 맞게 스팟 크기를 조정할 수 있습니다. ELS 5400은 빔 발산, 빔 균질성 및 편광을 포함한 뛰어난 빔 특성을 가지고 있습니다. 이미징의 경우 ELS-5400은 최소 해상도 30m인 전체 비디오 속도, 풀 프레임 이미징을 사용합니다. pixel-agnostic 및 pixel-specific 이미징을 모두 지원합니다. 이미징 소프트웨어 (CYMER Studio) 와의 긴밀한 통합은 펄스 변조, 펄스 모양, 펄스 중심 및 폭, 초점 변조, 스캔 속도 등의 설정을 완벽하게 제어합니다. 자산은 또한 마이크로 (micro-features) 에 액세스하기 위해 자동으로 확대/축소 및 초점을 맞출 수 있으며, 얇은 재료 레이어를 제거하는 데 사용할 수있는 레이저 제거 (laser ablation) 도 가능합니다. 또한 CYMER ELS 5400에는 눈 안전 인터 록, 빔 스캔 필드 제한, 빔 포인트 오 포리 긴 보호 등 다양한 안전 기능이 있습니다. 이 모델은 CFR 21 1 장, ISO 13485:2016 및 IEC 60825를 포함한 다양한 규제 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 전반적으로 CYMER ELS-5400은 고급적이고 신뢰할 수있는 레이저 장비로, 수리, 재 작업 및 NDI와 같은 애플리케이션에 적합합니다. 강력한 고성능 레이저 소스와 고정밀 전동 XY 스테이지가 특징입니다. 다양한 레이저 파장 (laser wavength) 과 뛰어난 이미징 기능을 갖춘 이 시스템은 유연성을 극대화하면서 매우 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 통합 안전 기능도 안전한 운영을 보장합니다.
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