판매용 중고 CYMER ELS 5300 #9245310

CYMER ELS 5300은 리소그래피, 에칭, 어닐링 및 텍스처링과 같은 광범위한 반도체 제작 응용 분야를 위해 설계된 레이저 장비입니다. 이 견고한 시스템은 유연한 장치 설계 및 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 를 통해 고품질의 균일한 처리 기능을 제공합니다. 5kW Yb 파이버 레이저, 초안정, 고변속기 레이저 빔 전달 머신, 고급 스캐닝 기능이 장착되어 있습니다. 공랭식 Yb 섬유 레이저는 긴 작업 거리에서 연속, 균일, 안정적인 빔에서 5kW의 출력을 생성합니다. 운영 수명 연장 및 유지 보수가 적은 고출력 성능을 제공합니다. 레이저 빔 전달 도구 (Laser Beam Delivery Tool) 는 고급 은하계 및 피에 조 (Piezo) 구동 스캐닝 기술을 활용하여 레이저 샷의 정확한 배치를 위해 작업 영역을 정확하게 스캔합니다. 고급 디지털 제어 자산 (Advanced Digital Control Asset) 은 다양한 프로세싱 요구 사항에 맞게 사용자 정의 레시피를 쉽게 액세스할 수 있도록 하여 탁월한 프로세스 성능을 제공합니다. 또한 지능형 자동 초점 (auto-focus) 및 전원 제어를 통해 최적의 처리 조건을 자동으로 설정하고, 교정 시간을 제거하고, 균일하고, 고품질의 결과를 제공합니다. CYMER ELS-5300에는 통합 비전 (Integrated Vision) 모델 및 프로세스 모니터링 기능이 장착되어 있어 포괄적인 프로세스 제어를 통해 정확성과 안전성을 보장합니다. ELS 5300 레이저 장비는 반도체 제작의 까다로운 요구를 충족하는 견고하고 다양한 솔루션입니다. 뛰어난 성능, 일관성, 고품질 프로세스, 높은 처리량, 높은 시스템 신뢰성을 제공합니다. 5kW 출력, 균일 한 빔 품질, 고급 스캐닝 기능, 지능형 자동 초점 및 제어 기능을 통해 다양한 고급 석판화, 에칭, 어닐링, 텍스처링 요구 사항을 충족할 수 있는 완벽한 플랫폼을 제공합니다.