판매용 중고 CYMER ELS 5300 #293797423

CYMER ELS 5300은 반도체 칩 제조에 널리 사용되는 동적 엑시머 레이저입니다. 이 고급 장비는 높은 에너지 펄스 (pulse of light) 를 제공하는 컴퓨터 제어 밀봉 레이저 챔버로 구성됩니다. 약실은 압력 안정적이며 내부 환경은 최고 효율성을 위해 고도로 최적화되었습니다. 코어에서 CYMER ELS-5300은 최대 5.0 킬로와트 (kW) 의 최대 전력에서 193 나노 미터 (nm) 파장 안정화 된 레이저 빛의 펄스를 생성합니다. 이것은 2 개의 개별 엑시머 레이저 헤드가 포함 된 복합 광학 시스템을 통해 수행되며, 각각은 최대 2.5kW를 독립적으로 생산할 수 있습니다. 광학 장치는 향상된 횡단 빔 안정성을 위해 고급 위치 감지 머신 (position sensing machine) 과 시간에 따른 강도 안정성을 최적화하기 위해 특별히 설계된 "전력 안정화 (power-stabilizing)" 도구로 더욱 향상되었습니다. 강력한 엑시머 레이저 설정 외에도 ELS 5300에는 고정밀 스테퍼 모터와 고도로 자동화된 fan-in-duct 자산이 있습니다. 스테퍼 모터는 빠르고 효율적인 노출 시간을, 팬 인 덕트 (Fan-in-duct) 모델은 엑시머 레이저 헤드의 뛰어난 냉각을 제공합니다. ELS-5300에는 UV 분리기 모듈 (Separator Module) 및 고출력 검사 시스템 등 다양한 액세서리가 함께 제공됩니다. 이들 "액세서리 '는 각기 다른" 응용프로그램' 의 특정 한 필요 를 충족 시키도록 장비 를 조정 할 수 있다. 전반적으로 CYMER ELS 5300은 강력하고, 안정적이며, 잘 설계된 엑시머 레이저 시스템으로, 고급 반도체 제작 프로세스에 이상적입니다. 사용자 친화적 인터페이스와 다양한 액세서리 (옵션) 를 통해 유연하고 경제적인 선택이 가능합니다.