판매용 중고 CYMER 5400 #293667156

CYMER 5400 레이저는 고급 리소그래피, 박막 증착, 에칭 및 비선형 광학과 같은 응용 분야에 사용되는 펄스 엑시머 레이저입니다. 1995 년 CYMER, Inc. (CYMER, Inc.) 가 도입 한이 레이저는 고효율 설계를 특징으로하며, 전체 공명 주파수에서 75 와트 이상의 출력 전력을 생산할 수 있습니다. 5400의 독특한 디자인에는 8 바운스 광학 공진기가 포함되어 있으며, 이는 자외선 (UV) 및 심자외선 (DUV) 파장 범위에서 전방향으로 빛을 방출합니다. 레이저는 ArF (193nm), KrF (248nm) 및/또는 XeCl (308nm) 을 사용하여 단일 또는 이중 나노 초에서 자외선 서브 피코 초 펄스에 이르기까지 다양한 레이저 펄스를 생성합니다. 레이저 (Laser) 는 깨끗하고 안정적인 레이저 펄스를 제공 할 수있는 빔 전달 광학 서브 시스템 외에도 교정, 제어, 작동 및 피드백 요소를 포함하는 독립형 장치입니다. 이 장치에는 10GHz 디더링 (dithering) 기능, 빠르고 정확한 주파수 설정, 내부 온도 컨트롤러 및 활성 압력 안정화 시스템 등이 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 온도, 압력 범위에서 일관되고 반복 가능한 성능을 얻을 수 있습니다. CYMER 5400은 조정 가능한 총 출력 에너지, 펄스 반복 주파수 및 펄스 너비 설정을 가지고 있으며 질소, 육불화 황, 염화 크세논 (xenon) 과 같은 광범위한 가스 매체와 호환됩니다. 또한, 이 장치에는 기계적 (mechanical) 과 전기적 (electrical) 인터 록을 모두 사용하여 작동 중 사용자의 안전을 보장하는 내장 안전 시스템이 내장되어 있습니다. 또한 5400에는 갑작스런 압력 사건 (예: 주 (main) 전원 장애) 시 레이저의 광학 구성 요소를 손상시키는 것을 방지하기위한 자동 퍼지 사이클 (automatic purge cycle) 이 포함되어 있습니다. 요약하자면, CYMER 5400 은 강력한 성능을 갖춘 견고성 강화 (Rugged) 레이저로, 광범위한 고급 제어 기능, 최대 출력 에너지, 안정적인 내부 안전 시스템을 제공합니다. 다용도 (versatiable), 신뢰성 있는 툴로서 다양한 유형의 애플리케이션에 적합하며, 유연성과 성능으로 인해 많은 업계에서 최고의 선택의 레이저 (laser) 중 하나가 됩니다.