판매용 중고 SUPERIOR AUTOMATION Wet bench #293597596

ID: 293597596
웨이퍼 크기: 8"
System, 8" Tank 1: Mega-sonic clean tank: (25) Wafer process cassettes Tank construction: Heated, Recirculating, Quartz Four sided cascade overflow Inlet / Outlet Connections, ½” Connection: Flare Tank inner dimension: 12” W x 12” L x 12” D Mega-sonic system: 750 kHz, 600 W Operating Temperature: 70°C Manual lid: PTFE / Teflon Tank 2 and 3: SC2 Clean tank and Silicon etcher (25) Wafer process cassettes Tank construction: Recirculating PFA / Teflon Four sided cascade overflow Inlet / Outlet connections, ½” Connection: Flare Tank inner dimensions: 12” W x 12” L x 12” D Manual lid: PTFE / Teflon Tank 4 and 5: HF and DHF: (25) Wafer process cassettes Four sided cascade overflow Tank construction: Recirculating natural polypropylene Inlet / Outlet connections, ½” Connection: Flare Tank I.D: 12” W x 12” L x 12” D Manual lid: Natural polypropylene Tank 6,7 and 8: 1, 2 and 3 QDR Rinse tank: (25) Wafer process cassettes Four sided cascade overflow Tank construction: Natural polypropylene DIW Adjustable: Top spray nozzle DIW Bottom: Fill cascade overflow Quick dump valve Tank 9 and 10: 4 and 5 QDR Rinse tank: (25) Wafer cassettes Tank construction: Natural polypropylene Four sided cascade overflow DIW Adjustable: Top spray nozzle DIW Bottom: Fill cascade overflow Quick dump valve QDR controller: Microprocessor Integrated solenoid valve Fill spray and dump timer.
우수한 자동화 젖은 벤치는 층류 및 푸메 후드의 한 유형입니다. 이 장비는 일반적으로 실험실 (laboratory) 설정에 배치되며, 필수 처리 작업을 수행하기 위해 오염이없는 영역을 제공하도록 설계되었습니다. 공중미립자 (airborne particulate) 와 연기 (fume) 가 작업 공간으로 들어가는 것을 방지하고 층류 (laminar flow) 가 있는 영역을 제공합니다. 즉, 환경 내 공기가 나머지 실험실보다 낮은 압력으로 유지되어 입자가 환경에서 멀어질 수 있습니다. 습식 벤치 (Wet bench) 는 오염을 줄이고 깨끗하고 안전한 작업 공간을 제공하도록 설계된 밀폐 장비입니다. 이 시스템은 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 로 구성되어 견고하고 내구성이 뛰어난 환경을 제공하며, 일반적으로 체적 흐름 제어 (Flow Control), 이중 피부 벽 장치, UV 형광 조명 및 양성 및 음압 시스템을 포함하도록 제작되었습니다. 이는 환경 전반에 걸쳐 기압을 보장하며, 외부 오염이 작업 공간 진입을 최소화합니다. SUPERIOR AUTOMATION Wet 벤치의 주요 구성 요소는 먼지, 먼지, 공기 미립자, 연기와 같은 외부 오염에서 벗어난 자체 포함 층류 흐름 작업 영역입니다. 이것은 기계의 공기 순환 도구 (air circulation tool) 에 의해 활성화됩니다. 여기서 공기는 깨끗한 공기의 외부 원천에서 순환하여 습식 벤치 (Wet bench) 의 내부를 흐른 다음 여과되어 외부 환경으로 다시 소진됩니다. 이렇게 하면, 모든 청소실 공정 에 중요 한 연속적 인 층류 (laminar flow) 를 유지 하는 데 도움 이 된다. 우수 자동화 (SUPERIOR AUTOMATION) 습식 벤치 (Wet bench) 는 내부의 공기가 나머지 실험실보다 낮은 압력으로 유지되도록 설계되었습니다. 이러 한 "후드 '" 스타일' 은 더 높은 기압 에 대하여는 변위 할 수 없기 때문 에, 입자 를 환경 으로부터 끌어낼 수 있게 해 준다. 또한 이중 피부 벽 자산 (double skinned wall asset) 으로 설계되어 공기 흐름을 개선하고, 소음 수준을 줄이고, 열 손실을 최소화합니다. 이 Wet 벤치에 내장 된 조명 시스템은 직접/간접 UV 형광 조명을 사용하도록 설계되었습니다. 이 조명은 모든 정밀 작업 및 청소실 프로세스에 필요한 안전, 균등, 일관된 조명을 제공합니다. 전반적으로 SUPERIOR AUTOMATION Wet 벤치의 기능은 실험실 작업 및 프로세스에 안전하고 오염이 없는 환경을 제공합니다. 기압 은 환경 밖 보다 더 낮은 수준 으로 유지 되며, 외부 오염 을 감소 시키는 데 도움 이 되는 이중 "스킨 '벽" 모델' 이 있다. 조명장비는 고르게, 안전하고 일관된 광원 (source of light) 을 제공하도록 설계되었으며, 층류 (laminar flow) 는 공기 미립자와 연기가 작업 공간에 들어오지 않도록 보장합니다. 이것은 실험실에서 수행해야 할 모든 정확성과 오염없는 (오염 없는) 작업에 필수적입니다.
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