판매용 중고 ULVAC TC-7000 #9086683
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ULVAC TC-7000은 반도체 공정 연구를 위해 효율적이고 고정밀 증발 장비를 제공하는 실험실 장비 및 액세서리입니다. TC-7000은 ULVAC 고유 회전 증발 소스와 고속 다중 축 선형 전송 시스템 (Multi-Axis Linear Transfer System) 을 결합하여 극도의 정확성과 온도 제어를 가능하게합니다. 이 장치는 빠른 속력으로 인해 이식 간격이 감소했으며, 필름 형성, 고온 프로세스, 초박막 코팅 (ultra-thin film coating) 과 같은 광범위한 응용 분야에 사용될 수 있습니다. ULVAC TC-7000은 진공 기계, 증발 소스 및 전송 어셈블리의 3 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 진공 공구는 2 개의 진공 펌프, 오일 확산 펌프, 기계 펌프 및 별도의 터보 분자 펌프로 구성됩니다. 이 설정은 고품질 진공 환경과 효율적인 가스 방출 제어를 제공합니다. 증발 원천은 진공실 (vacuum chamber) 내에 놓인 회전식 증발 원천으로, 입자를 매우 지역화되고 정확한 방식으로 완전히 증발 할 수 있습니다. 전송 어셈블리 (transfer assembly) 는 증발 소스와 기판 사이의 정밀하고 고속 전송을 허용합니다. TC-7000에는 필름 형성의 정확성을 보장하는 온도 조절 기능도 있습니다. 증발 원천의 온도는 소스 홀더 (source holder) 내에 통합 된 온도 컨트롤러 (temperate controller) 에 의해 제어 될 수 있으며, 판 전체에 설치된 열전대를 사용하여 기판의 온도를 CPU로 모니터링 및 제어합니다. 또한, ULVAC TC-7000에는 2 개 이상의 소스가 동시에 증발하는 것을 방지하는 연동 자산과 고도의 진공 관리를 위해 자동 배기 제어 모델이 포함되어 있습니다. TC-7000은 박막 코팅, 반도체 처리, 정밀도가 필요한 다양한 분야의 연구에 이상적입니다. 고급 증발 장비, 온도 조절 및 연동 시스템을 갖춘 ULVAC TC-7000은 안정적이고 정확한 결과를 제공합니다. 이것은 높은 정밀도, 효율적인 증발 프로세스를 찾는 모든 실험실의 필수 장비입니다.
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