판매용 중고 SHIMADZU CTO-10A VP #170893

SHIMADZU CTO-10A VP는 청소 실/실험실 처리 환경을 위한 고급 열 산화물 장비입니다. 이 다기능 기계에는 자동 열 산화물 처리, 화학 증기 증착, 화학 기계 평면 화와 같은 기능이 있습니다. 화학-기계 연마 (CMP), 화학 증기 증착 (CVD) 및 화학 증기 촉매 산화 (CVCO) 와 같은 작업을 수행합니다. 이러한 프로세스는 고성능 컴포넌트, 특히 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 및 광학 장치에 사용되는 컴포넌트를 생성하는 데 사용됩니다. CTO-10A VP에는 터치 패널 인터페이스 (Touch Panel Interface) 가 장착되어 있어 직원들이 시스템 성능을 손쉽게 모니터링할 수 있습니다. 또한, 제어 시스템은 강력하지만 유연하며, 특정 요구 사항에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 설계 및 레이아웃은 운영 및 유지 보수 용이성, 최적의 운영을 보장합니다. SHIMADZU CTO-10A VP (Advanced End Point Detection) 기능은 시간 소모적인 수동 Endpoint Detection 프로세스가 필요 없이 산화 프로세스의 종점을 정확하게 감지할 수 있습니다. 이 단위는 또한 산화 단계 동안 안정적인 산화 온도를 보장하기위한 추가 산화 전 방법 (pre-oxidation method) 을 포함한다. 일관된 온도 수준을 유지하기 위해 CTO-10A VP에는 PID 제어 온도 조절 시스템이 장착되어 있습니다. 이 도구는 공기/아르곤에서 산소, 질소 및 CF4에 이르기까지 다양한 가스 원과 호환됩니다. CTO-10A의 고급 스테인리스 스틸 쇼어 헤드 (stainless steel showerhead) 는 각 가스에 대해 동일한 양의 질량 흐름을 제공합니다. 또한, 자산은 최대 온도 750 ° C (750 ° C) 를 제공하여 정밀도가 높은 산화물 공정 단계를 수행 할 수 있습니다. 또한, SHIMADZU CTO-10A VP에는 촉매 산화 과정과 동시에 작동하는 6 영역 웨이퍼 정렬기가 있습니다. 또한 모델에는 ACL (Automatic Cassette Loading) 프로세스가 있어 CVM, CVD 및 CVP 작업을 쉽게 설정할 수 있습니다. CTO-10A VP의 최고 품질의 소재는 오래 지속되고, 안전하며, 친환경적인 머신을 만드는 데 도움이 됩니다. 이 첨단 열 산화물 장비는 모든 실험실 또는 첨단 처리 환경에 적합한 강력한 자산입니다.