판매용 중고 ADIXEN APR 4300 #9235406
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ID: 9235406
Wafer decontamination system, 12"
CIM: E84, SECS/GEM, GEM300
Main system:
Main mini environment Platform
Main CPU & ACDC module
SMIF System: (2) ASYST 2200 Indexers
Handler system:
Wafer notch alignment with spatula
(2) Harmonic arm drive assembly with wafer handler
APM Slider with shuttle arm
Process chambers:
Etching with E-chuck
Stripping
Rinse/Spin dry
(2) Load locks
(3) RF Generators, 1250 W
Auto WVDS controller
Accessories: Remote AC box
Main chamber:
Turbo pump: 1000ltr with controller
E-Chuck
TCP RF Match
Bias RF match
(2) RF Generators
100 sccm CL2 MFC
50 sccm BCL3 MFC
300 sccm O2 MFC
30 sccm N2 MFC
1000 sccm N2 MFC
100 sccm Ar MFC
50 sccm He UPC
Strip chamber:
DSQ RF Match
Heater paddle
RF Generator
Auto WVDS controller
2000 sccm O2 MFC
300 sccm N2 MFC
500 sccm H2O MFC With controller
Rinse/Dry: Spin dryer with vacuum chuck
2014 vintage.
ADIXEN APR 4300은 ADIXEN 브랜드의 내구성과 강력한 실험실 장비 및 액세서리입니다. 이 장치는 이중 다이어프램 진공 펌프와 통합 컨트롤러의 조합입니다. 실험실 장비 및 액세서리에 필요한 어플리케이션의 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. APR 4300에는 듀얼 다이어프램 진공 펌프 (dual diaphragm vacuum pump) 및 통합 컨트롤러 (integrated controller) 가 있으며, 이는 가장 까다로운 실험실 환경에서도 안정적이고 효율적인 작동을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치에는 1/4 NPT 피팅이 장착되어 있으며 최대 펌핑 용량은 8l/min입니다. 3 단계 작동의 강력한 1150W 모터를 특징으로하며 안전하고 신뢰할 수있는 CE 인증을 받았습니다. 이 장치에는 내장 된 자체 측정 오일 미스트 드레인 (oil mist drain) 이 있으며, 이는 필터의 수명을 연장하고 오일 미스트를 공식적으로 줄입니다. ADIXEN APR 4300 (ADIXEN APR 4300) 에는 압력과 흐름 값을 표시하는 컬러 LCD 디스플레이가 있어 사용자가 시스템 성능을 쉽게 모니터링할 수 있습니다. 이 장치는 안전하게 작동하도록 설계되었으며, 다양한 안전 (safety) 기능에 의해 손상되지 않도록 보호됩니다. 이 장치는 IP 21C 정도의 보호를 가지고 있으며, UL 승인을 받았으며, 분리 된 팬 모터, 과부하 난방, 과부하 전류 보호 및 열 절연 서지 챔버를 갖추고 있습니다. APR 4300 은 모듈식 설계를 간편하게 사용할 수 있으며, 설치 및 유지 보수가 간편합니다. 이 장치는 가볍고 컴팩트하며, 운송 및 보관이 용이합니다. 결론적으로 ADIXEN APR 4300은 고급적이고 강력한 실험실 장비 및 액세서리입니다. 가장 까다로운 환경에서도 안정적이고 효율적인 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치에는 다양한 안전 기능이 있으며 UL이 승인되었습니다. 또한, 모듈식 설계 덕분에 설치와 유지 관리가 쉽습니다. APR 4300 (APR 4300) 은 강력하고 안정적인 진공 펌프 및 통합 컨트롤러가 필요한 실험실 응용프로그램에 이상적인 선택입니다.
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