판매용 중고 VEECO RF 350 #293822075
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ID: 293822075
웨이퍼 크기: 8"
Ion Beam Etcher (IBE), 8"
BROOKS MX500
Process module
Transfer module
Loadlocker
Aligner.
VEECO RF 350은 반도체 및 재료 과학 응용 프로그램에서 정밀 박막 에칭 및 재료 제거를 위해 설계된 고급 이온 밀링 장비입니다. 이 시스템은 이온 빔 폭격 (ion beam bombardment) 의 원칙에 따라 기판에서 재료를 선택적으로 제거하여 고해상도 패턴화 (high-resolution patterning) 를 허용하고 비교할 수없는 정밀도로 샘플을 얇게 제어합니다. VEECO RF-350 (VEECO RF-350) 의 다목적 능력은 표면 형태와 재료 균일성이 절실히 필요한 연구, 개발 및 생산 프로세스에 필수적인 도구입니다. RF 350의 중심에는 RF (Advanced Radio-Frequency) 이온 소스 (Ion Source) 가 있으며, 이는 샘플 표면에 정확하게 향할 수있는 고에너지 이온 빔을 생성합니다. 이 이온 빔 (ion beam) 은 대전된 입자 (일반적으로 아르곤 이온) 로 구성되며, 상당한 운동 에너지와 운동량을 운반하여 물리적 스퍼터링을 통해 효율적이고 통제 된 물질 제거를 가능하게한다. RF 이온 소스는 뛰어난 빔 공조 및 안정성을 제공하여 샘플 표면에 균일 한 에칭을 보장하고 서브 미크론 해상도 (sub-micron resolution) 로 복잡한 패턴을 만들 수 있습니다. RF-350 이온 밀링 장치 (ion milling unit) 는 이온 빔 에칭 공정을 위해 통제 된 환경을 제공하는 정교한 챔버 설계를 특징으로합니다. 이 챔버에는 인사이트 (in-situ) 프로세스 모니터링 및 제어 기능이 장착되어 있으므로 프로세스 매개변수의 실시간 피드백 및 조정을 통해 최적의 에칭 조건을 달성할 수 있습니다. 또한, 기계는 고급 진공 및 가스 처리 시스템을 통합하여 원하는 프로세스 조건을 유지하고 작동 중 오염을 방지합니다. VEECO RF 350 이온 밀링 도구의 주요 장점 중 하나는 탁월한 프로세스 다용성과 확장성입니다. 이 자산은 광범위한 이온 빔 에너지 (ion beam energy), 현재 밀도 (current densities) 및 빔 직경 (beam diameter) 을 제공하여 에칭 프로세스를 특정 재료 특성 및 어플리케이션 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한, 모델의 자동 샘플 처리 및 포지셔닝 (positioning) 기능을 통해 여러 샘플의 처리량이 높아 신속한 프로토타이핑 (prototyping) 및 대규모 운영 환경에 적합합니다. VEECO RF-350 이온 밀링 장비에는 고급 안전 (Safety) 기능과 인터 록이 장착되어 있어 작동 중 운영자 보호 및 시스템 무결성을 보장합니다. 이 장치는 이온 빔 (ion beam) 처리 장비에 대한 업계 표준을 준수하도록 설계되었으며 안정적이고 일관된 성능을 보장하기 위해 엄격한 테스트 및 품질 관리 (Quality Control) 조치를 거칩니다. 또한 VEECO 는 포괄적인 교육/지원 서비스를 통해 사용자가 시스템의 기능을 극대화하고 애플리케이션에서 최적의 결과를 얻을 수 있도록 지원합니다 (영문). 결론적으로, RF 350 이온 밀링 도구는 정밀 재료 에칭 및 박막 처리를 위한 최첨단 도구이며, 반도체 및 재료 과학 응용 분야에 탁월한 성능, 다용성, 신뢰성을 제공합니다. 고급 이온 소스 기술, 정교한 챔버 설계, 자동화된 프로세스 제어 기능을 갖춘 RF-350 을 사용하면 박막 패턴화 (Thin Film Patterning), 장치 제작 (Device Fabrication), 재료 연구 (Exceptive Precision and Efficiency) 등의 탁월한 결과를 얻을 수 있습니다.
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