판매용 중고 VEECO RF 350 #293627213
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ID: 293627213
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1999
Ion Beam Etcher (IBE), 6"
Process chamber
Manual loader
MIT 190M Dry transformer
LEYBOLD HERAEUS 100 Dry vacuum pump
LEYBOLD HERAEUS Trivac D658 Pump
MZ-2T Pump
FC1600T Chiller
Terminal drive
Drilling crew
Upgraded Hard Disk Drive (HDD)
1999 vintage.
VEECO Nexus IBE 350은 정확한 샘플 준비 및 표면 분석을 위해 설계된 고급 이온 밀링 장비입니다. 이 시스템은 다양한 스퍼터 프로세스 (sputter process) 를 위해 설계되었으며 하드 밀링 (hard milling) 과 소프트 밀링 (soft milling) 모두 가능합니다. 사용자는 각 응용 프로그램에 대한 최적의 밀링 매개변수를 선택할 수 있는 활성/비활성 가스 제어 장치 (Active/Inert Gas Control Unit) 가 장착되어 있습니다. Nexus IBE 350 이온 밀링 머신 (ion milling machine) 은 소형 설계를 통해 설치 작업을 간소화하고 장비 설치 공간을 최소화합니다. 강력한 고성능 350 W rf 발전기가 도구의 고속 3 축 스테이지와 연결되어 정확하고 정밀한 측면 벽 및 뒷면 밀링이 가능합니다. VEECO Nexus IBE 350 (VEECO Nexus IBE 350) 은 또한 사용자가 깊은 후퇴 특성을 개선하고 선택한 샘플에서 스퍼터 침식의 영향을 최소화 할 수있는 통합 cryo-pump를 포함합니다. 이 이온 밀링 (ion milling) 자산은 프로세스 매개변수를 제어하고 모니터링하기 위한 최적의 인터페이스를 제공하도록 설계되었습니다. 내부 모니터 (Internal Monitor) 와 직관적인 제어 모델 (Intuitive Control Model) 의 조합으로 밀링 프로그램을 간편하게 설정하고 실행할 수 있으며 원격 작업도 가능합니다. 그래픽 전면 패널 디스플레이 (Graphical Front Panel Display) 및 직관적인 작동 메뉴 (Intuitive Operating Menu) 는 밀링 프로세스를 명확하게 표시하여 매개변수를 쉽게 조정하고 진행 상황을 모니터링할 수 있습니다. 인라인 (in-line) 도량형과 장비의 손쉬운 네트워크 호환성을 조합하여 에칭 (etched) 샘플을 추적하고 보고 기능을 향상시킵니다. 모듈식 디자인과 사용자 친화력 덕분에, Nexus IBE 350은 정확하고 안정적인 샘플 준비 및 분석을 위한 귀중한 도구입니다. 이 이온 밀링 시스템은 GaN, Si, Cr 및 Cu 합금과 같은 다양한 샘플에 효율적으로 일관되게 사용될 수 있습니다. 고급 기능과 컨트롤을 갖춘 VEECO Nexus IBE 350 이온 밀링 장치는 고도로 정렬된 표면 및 기판을 준비하는 데 이상적인 솔루션입니다.
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