판매용 중고 VEECO IBD / IBE #9313137

VEECO IBD/IBE는 평면 화, 빼기 에칭 및 장치 테스트 응용 프로그램에 사용되는 이온 밀링 장비입니다. 이 시스템은 최고 품질의 결과를 얻기 위해 이온 에너지 (ion energy) 와 플럭스 (flux) 를 정확하고 미세하게 제어할 수 있도록 설계되었습니다. 매우 최적화된 빔 (beam) 어셈블리와 선형 컨트롤러 (linear controller) 를 사용하여 이온 빔 매개변수를 세밀하게 조정하여 에치 깊이와 균일성을 극대화할 수 있습니다. "IBD '/IBE 의 중심부 에는 전계 방출 전자 총 이 있는데, 이것 은 활력" 이온 '의 광선 을 만들어 내며, 그것 을 기판 에 집중 시켜 가속 시킬 수 있다. 빔이 기판에 도달하면, 지형 표면 구조를 레벨아웃하는 데 사용되는 평면 화 효과 (planarization effect) 가 생성됩니다. 또한 VEECO IBD/IBE는 에칭 깊이를 정확하게 제어하여 복잡한 3D 기능에서도 균일 한 에치 속도를 제공합니다. 이 장치의 선형 컨트롤러 (Linear Controller) 는 부드럽고 조절 가능한 빔 (Beam) 매개변수를 생성할 수 있으며, 사용자가 최적의 에칭 특성을 위해 빔을 미세 조정할 수 있습니다. VEECO 고급 빔 최적화 프로세스 (Advanced Beam Optimization Process) 를 통해 구조의 전체 지형이 인접한 피쳐에 측면 지형 손상을 입히지 않고도 수평을 이룰 수 있습니다. IBD/IBE 는 Planarization 및 Subtractive Etching 외에도 다양한 디바이스 테스트 애플리케이션에 사용될 수 있습니다. 가변 빔 전원을 사용하면 정밀도로 전류 대 전압 및 온도 의존 측정을 수행 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 정확한 장치 테스트 작업을 가능하게 하는 몇 가지 정확한 동작 제어 옵션을 포함합니다. 전반적으로, VEECO IBD/IBE는 빔 매개변수 (beam parameter) 와 동작 제어 (motion control) 기능을 매우 정확하게 제어하도록 설계된 고급 이온 밀링 도구입니다. 높은 수준의 정밀도를 필요로 하는 플라나라화 (Planarization), 빼기 (빼기) 에칭 및 장치 테스트 작업에 이상적인 도구입니다.