판매용 중고 VEECO IBD-350 #9043203
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ID: 9043203
Ion Beam Deposition System
Main Unit:
(1) Deposition Chamber 0.2 cubic Meters, Pressure = -1Bar
(1) Deposition Chamber 0.75 cubic Meters, Pressure = -1 Bar, with Additional Components to Include
(1) Pfeiffer Model TPU 2200UPC Turbo Molecular Pump
(1) Pfeiffer TPU 2200C Turbo Molecular Pump
(1) CTI Cryogenics ON-BOARD Water Pump
(1) Amtek Process Instrument Dymaxion Dycor Residual Gas Analyzer Mass Spectrometers
Control Racks with the Following Combined Components:
(4) Rack Servers
(1) LCD Monitor
(1) Raritan MasterConsole MX Module
(5) CTI Cryogenics Controllers
(2) Pfeiffer Model TCP380 Vacuum Controller
(3) Sorenson Model DCS60-18E Power Supplies
(3) Sorenson DCS600-1.7E
(1) Hiden Analytical RC Interface Module
(3) Spellman SL1200 Controllers
(3) Spellman SL300 Controllers
(2) RFPP Model RF20M Power Supply
(4) APS Smart UPS SC450 Power Supplies
(1) Pfeiffer TCP5000 Vacuum Controller
(2) Pfeiffer Vacuum TCP600 Controllers
Support Equipment to Include:
(1) Polycold Series Model PFC-1100-LT, 2007 vintage
(2) Edwards QDP40 Dry Vacuum Pump Systems with Q-Series 2MCM Interface Modules
(1) Edwards QDP80 Dry Vacuum Pump System with a Q- Series 2MCM Interface Module
(3) CTI Cryogenics Model 9600 Compressors;
(1) Neslab CFT-150 Recirculated Chiller
(1) Power Cabinet, 208V, 3 Phase, 60Hz, 100A.
VEECO IBD-350은 정밀 표면 밀링을 위해 설계된 완전 자동화 된 컴퓨터 제어 이온 밀링 시스템입니다. IBN (Ion Beam Neutralizer System) 을 사용하여 샘플에 대한 고정밀 컷을 생성하는 고급 형태의 마이크로 에칭 기술을 사용합니다. 시스템은 서브 미크론 정확도로 가변 깊이 밀링이 가능합니다. VEECO IBD 350은 Y 방향으로 7mm, X 방향으로 37mm의 200mm X-Y 스테이지를 제공합니다. 10-335Kv/A 이온 소스와 상대 위치 정확도 0.003mm가 장착되어 있습니다. IBD-350은 스퍼터링, 에칭, 빔 증착 및 밀링 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 다양한 극저온 및 고온 응용 분야에서 뛰어난 표면 특성을 제공합니다. 이온 밀링 공정 (ion milling process) 은 활기 넘치는 이온 (일반적으로 아르곤) 에 의존하여 농축 된 층에서 물질을 탈피한다. IBD 350 의 에너지 비율은 최대 5:1 로, 표면 효과를 향상시키면서 절단 깊이를 줄입니다. 기존 밀링에 비해 에칭 속도가 약 50% 향상 된 고효율 (eching speed) 결과를 제공 할 수 있습니다. 고객의 구체적인 요구 사항을 충족하기 위해 VEECO IBD-350 (VEECO IBD-350) 은 컴퓨터에 프로그래밍 및 저장할 수 있는 다양한 맞춤형 사용자 설정을 제공합니다. 정밀하고 반복 가능한 에칭 또는 밀링을 제공하여 다양한 입자의 이온 빔 깊이 (ion beam depth) 및 입사 각도를 제어합니다. VEECO IBD 350 은 또한 초기 단계에서 기기 장애를 식별하는 자동화된 엔드 포인트 감지 (End Point Detection) 및 통합 진단 기능을 제공합니다. IBD-350 (IBD-350) 은 원하는 샘플 표면을 얻기 위해 고정밀링 (high-precision milling) 이 필요한 연구자와 업계 엔지니어에게 신뢰할 수 있는 도구입니다. 빠른 절단 속도, 가변 에너지 비율, 사용자 제어 설정 덕분에 기존 밀링에 비해 상당한 이점을 제공합니다. IBD 350 은 효율성이 높고 비용 효율성이 높아 업계/연구 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.
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