판매용 중고 VEECO IBD-350 #9040552
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ID: 9040552
Ion Beam Deposition System
Main Unit:
(1) Deposition Chamber 0.2 cubic Meters, Pressure = -1Bar
(1) Deposition Chamber 0.75 cubic Meters, Pressure = -1 Bar
(2) Q Leybold MAG 2000 Turbo Molecular Pumps, (1) CTI Cryogenics ON-Board 8F Cryopump
(2) Amtek Process Instrument Dymaxion Dycor Residual gas Analyzer Mass Spectrometers
Control Racks with the Following Combined Components:
(4) Triplite Smart UPS Rack Power Supplies
(4) Rack Servers
(1) LCD Monitor
(1) Raritan Master Console MX Module
(3) CTI Cryogenics Controllers
(1) Pfeiffer Model TCP380 Vacuum Controller
(6) Sorenson Model DCS60-18E Power Supplies
(2) Sorenson DCS600-1.7E
(1) Netview KVM Switch Solutions Controller
(1) Hiden Analytical RC Interface Modules
(3) Spellman SL1200 Controllers
(2) RFPP Model RF20MWC Plasma Generators
(2) Leybold Mag Drive 2000 Controllers
(1) Sorenson DCS20-150 Power Supply
(2) Spellman SL300 Controllers
(1) RFPP Model RF20M Power Supply
Support Equipment to Include:
(1) Neslab HX-150 Recirculating Chiller
(1) Polycold R2000 Series Model PFC-1100-LT, 2004 vintage
(2) Edwards QDP40 Dry Vacuum Pump Systems with Q-Series 2MCM Interface Modules
(1) Edwards QDP80 Dry Vacuum Pump System with a Q- Series 2MCM Interface Module
(3) CTI Cryogenics Model 9600 Compressors
(1) Polyscience Recirculator
(1) Power Cabinet with a 5HP Internal Motor.
VEECO IBD-350은 다양한 nanofabrication 응용 프로그램을 달성하도록 설계된 고정밀 Ion Milling Equipment입니다. 이 시스템은 초점 이온 빔 (FIB) 밀링을 사용하여 기판에서 재료를 제거하여 높은 수준의 정확도로 수직 프로파일을 만듭니다. 갈륨 (gallium), 제논 (xenon), 헬륨 (helium) 을 포함한 다양한 이온 소스를 사용할 수 있으며, 다양한 응용 및 기판에 적합한 선택을 가능하게한다. VEECO IBD 350은 미크론 및 나노 미터 레벨 해상도와 높은 스퍼터 속도를 특징으로합니다. 유기 물질, 무기 물질, 금속 재료 등 다양한 물질과 기판 (기판) 으로 자를 수 있으며, 안정성과 정확성이 뛰어납니다. 통합 된 고해상도 변속기 전자 현미경 (TEM) 화면을 통해 밀링 영역을 신속하게 결정하여 샘플링 프로세스가 더 쉬워집니다. 또한, 기계는 X-축 전용 (X-Axis only) 또는 X-Y-축 (X-Y-Axis) 모드에서만 쉽게 작동하여 사용자가 밀링 프로세스의 적절한 범위와 깊이를 선택할 수 있도록 유연성을 제공합니다. 또한 IBD-350 은 직관적인 제어 툴을 통해 이온 밀링 (ion milling) 프로세스를 빠르고 쉽게 설정, 작동 및 모니터링할 수 있습니다. 에셋은 빔 전류 (beam current), 빔 크기 (beam size), 전력 밀도 (power density), 펄스 길이 (pulse length) 등과 같은 프로세스 매개변수를 완벽하게 제어하여 최고 수준의 정확성과 반복성을 제공하도록 조정할 수 있습니다. 또한, 이 모델의 소프트웨어를 사용하면 설정을 저장하고 리콜할 수 있으며, 간편하고 사용자에게 친숙한 환경을 만들 수 있습니다. 안정적인 밀링 프로세스를 보장하기 위해 IBD 350에는 기판을 냉각시키는 공기 노즐 (air nozzle) 과 오버 밀링 (over-milling) 또는 로컬 온도 상승을 방지하는 밀링 (milling) 및 기판에 손상을 신속하게 등록하고 밀링을 중지하는 검출기 제어 빔 블랭킹 장비 (detector-controlled beam blanking) 를 포함한 다양한 안전 기능이 포함됩니다. VEECO에는 자동 샘플 교환 시스템 (sample exchange system) 도 포함되어 있어 효율적인 평가판 및 오류 프로세스가 가능합니다. VEECO IBD-350 의 기능은 다양한 nanofabrication 프로세스에 이상적인 선택입니다. VEECO IBD 350 은 정확하고 안정적인 성능 덕분에 다양한 연구/산업용 애플리케이션을 위한 탁월한 솔루션입니다.
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