판매용 중고 SHIBAURA BF-13A #145929

SHIBAURA BF-13A는 정밀 재료 제거 및 에칭 목적으로 사용되는 이온 밀링 장비입니다. 반도체 및 MEMS 제작, 딥 에칭 (deep etching) 및 기타 nanofabrication 작업을 포함한 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. 이 시스템은 표면을 침식시키기 위해 기판을 목표로 한 강력한 고에너지 Ar + 이온 빔 (Ar + ion beam) 을 사용하여 정확한 재료 제거를 허용합니다. 이온 빔 (ion beam) 은 최대 830W의 정전기 및 자기장을 사용하여 빔의 궤적을 미세하게 제어 할 수 있습니다. 이 장치는 최대 500 나노미터 깊이와 최대 200 나노미터 너비의 고해상도 에칭을 달성 할 수 있습니다. 이것은 Ar + 이온 빔의 낮은 빔 스프레드 (beam spread) 와 속도 (속도) 로 인해 가능하며, 기계의 충전 및 공간 디지털 전압계로 조정 할 수 있습니다. BF-13A 는 또한 가스입구 기계 (gas inlet machine) 와 비상 정지 (emergency stop) 및 인터 록 (interlock) 과 같은 안전 시스템을 갖춘 다양한 안전 기능을 제공합니다. 또한, 정확한 빔 에너지 제어를 제공하는 폐쇄 루프 피드백 도구가 특징입니다. 자산은 다양한 재료를 보유 할 수 있으며, 도자기, 유리, 금속 등 다양한 건축 재료가 적합 할 수 있습니다. 또한 인체 공학 제어판 (Ergonomic Control Panel) 으로 설계되어 매개변수를 쉽게 입력하고 작업을 빠르고 간편하게 수행할 수 있습니다. 전반적으로 SHIBAURA BF-13A는 정밀 재료 제거 및 에칭을 위해 설계된 고급 이온 밀링 모델입니다. 강력한 고에너지 Ar + 이온 빔 (Ar + ion beam) 이 특징입니다. 시스템의 정확한 제어 기능 및 안전 시스템과 결합 될 때 정확하고, 깊은 에칭 및 미세 재료 제거가 가능합니다.