판매용 중고 SCIA SYSTEMS GMBH TRIM 200 #293828738

ID: 293828738
웨이퍼 크기: 4"-6"
빈티지: 2015
Ion milling system, 4"-6" Vacuum chamber with pump system Handling robot with cassette loading Vacuum pre-aligner / Wafer ID reader Neutralizer and (4) Axis systems Wafer chuck with mechanical wafer clamping and helium backside Control rack with electricity supply and control PC Interface: SECS / GEM RGA Integration Gas channel Handling unit: MX500 With (2) Load-locks RGA Via ethernet Manual control of RGA Visual output of measurement (14) Individuals masses: Alarm threshold / Tolerance (14) Masses: Online / Offline trend Gas piping 1/4" stainless steel with VCR fitting Cabinet system frame Hardware integration SECS / GEM Integration: Mass flow controller (MKS) / (2) Pneumatically operated valve (7) Additional gas channels Inert, 1/4" RGA MKS HPQ3 S For process monitoring: Power supply GRANEVILLE PHILLIPS Micro gauge Hardware: MKS Instrument HPQ3S IP RGA Controlled angle valve between process chamber RGA To protect filament Process chamber: BROOKS MX 400 Handling robot Axis system (X-Y-Z-Phi axis) SECS II-SEMI E5-0706 (Standard) GEM-SEMI E30-1103 (Standard) Lower level protocol: HSMS-SS - SEMI E37-0303 (Standard) Facility supply: (3) Gas channels Compressed air Cooling wafer distribution Handling platform: BROOKS MX500 With (2) cassette load-locks MX400 With load-lock Wafer over (2) cassette load-locks 2015 vintage.
SCIA SYSTEMS GMBH TRIM 200은 반도체 제조, 연구 개발 및 기타 나노 스케일 처리 기능이 필요한 첨단 산업에서 정밀 재료 제거를 위해 설계된 고급 이온 밀링 장비입니다. 혁신적인 이온 빔 (ion beam) 처리 솔루션의 선도적 인 제공자로서, SCIA SYSTEMS는 보다 뛰어난 표면 품질, 균일성, 재료 제거 프로세스 제어를 요구하는 최첨단 어플리케이션의 요구를 충족시키기 위해 TRIM 200을 개발했습니다. SCIA SYSTEMS GMBH TRIM 200 이온 밀링 시스템은 최첨단 기술과 고급 기능 덕분에 탁월한 성능과 유연성을 제공합니다. 이 장치에는 정밀하고 제어된 재료 제거를 위해 집중된 이온 빔 (ion beam) 을 생성하는 고효율 이온 소스가 장착되어 있습니다. 이 이온 빔 (ion beam) 은 각기 다른 재료의 특정 처리 요구 사항에 맞게 다양한 이온 종으로 구성할 수 있으므로 프로세스 유연성과 효율성을 극대화할 수 있습니다. TRIM 200 머신의 주요 특징 중 하나는 고급 자동화 기능으로, 처리량이 많은 프로세싱과 효율적인 작동을 가능하게 합니다. 이 도구에는 정교한 소프트웨어 인터페이스가 장착되어 있어 이온 빔 에너지 (ion beam energy), 입사각 (angle of incidence), 밀링 시간 (milling time) 과 같은 처리 매개변수를 쉽게 프로그래밍하고 제어할 수 있습니다. 이 자동화 기능은 자산의 생산성을 높일 뿐만 아니라, 복잡한 제조 프로세스에 대해 일관되고 재현가능한 결과를 보장합니다. SCIA SYSTEMS GMBH TRIM 200 이온 밀링 모델은 자동화 기능 외에도 다양한 고급 프로세스 모니터링 및 제어 기능을 제공하여 정확하고 안정적인 재료 제거를 보장합니다. 이 장비에는 이온 전류 밀도 (ion current density), 빔 프로파일 (beam profile), 재료 제거율 (material removal rate) 과 같은 주요 프로세스 매개변수의 실시간 모니터링이 가능한 현장 도량형 도구가 장착되어 있습니다. 이 실시간 피드백 메커니즘을 사용하면 즉석에서 프로세스 매개변수를 조정하여 원하는 재료 제거 속도 (material removal rate) 와 서피스 품질 (surface quality) 을 얻을 수 있습니다. 또한, TRIM 200 시스템은 밀링 프로세스 동안 기판의 정확한 위치 및 정렬을 가능하게하는 고정밀 (high-precision) 샘플 단계로 설계되었습니다. 이 샘플 위치를 정확하게 제어하면 전체 표면에서 균일한 재료 제거 (uniform material remove) 가 가능해지며, 뛰어난 재현성을 통해 고품질의 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치는 또한 다양한 기판 크기와 모양을 수용할 수있는 다양한 샘플 홀더 (sample holder) 와 일정 옵션 (fixture option) 을 제공하여 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 산업의 광범위한 응용 분야에 적합합니다. 전반적으로 SCIA SYSTEMS GMBH TRIM 200 이온 밀링 머신은 고정밀 재료 제거 및 표면 수정 응용 프로그램을위한 최첨단 솔루션입니다. 고급 기술, 자동화 기능, 프로세스 제어 기능을 갖춘 TRIM 200 은 다양한 나노스케일 (Nanoscale) 프로세싱 어플리케이션에서 우수한 결과를 얻을 수 있는 안정적이고 효율적인 툴을 제공합니다. 반도체 장치 제작, 연구, 프로토타입에 사용되는 SCIA SYSTEMS GMBH TRIM 200 툴은 첨단기술 산업의 발전하는 요구를 충족시키는 탁월한 성능과 다용성을 제공합니다.
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