판매용 중고 PHILIPS / FEI Strata 400S #9268145

PHILIPS/FEI Strata 400S는 연구 및 산업 응용을위한 샘플 및 표본 생산에 사용되는 이온 밀링 장비입니다. 이 시스템은 박막 패턴화 및 균일 한 에칭을위한 고급적이고 효율적인 장치입니다. 금속, 화합물 반도체 및 유전체 재료를위한 서브 미크론 에칭 (submicron etching) 의 광범위한 응용 분야에 이상적입니다. FEI Strata 400S는 균일성과 재생성으로 탁월한 에치 속도를 달성 할 수 있습니다. FIB (focused ion beam) 기술을 사용하여 기계는 레이어를 하위 아이콘 해상도로 에치 할 수 있습니다. 즉, 복잡한 샘플을 반복적으로 처리할 수 있도록 높은 처리 속도와 향상된 생산성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 기계는 또한 표본 준비 및 상세한 결함 분석을 위해 깊은 층 얇아질 수있다. 필립스 스트라타400S (PHILIPS STRATA400S) 는 여러 플랫폼과 함께 고급, 완전 자동화된 도구를 제공하여 처리 중 데이터 수집을 증가시킵니다. 여기에는 CAD 호환 자동 패턴화를 위한 CAD (Computer-Aided Design) 자산이 포함되어 있어 처리량이 높은 빠르고 정확한 샘플 준비가 가능합니다. 이 모델은 완전 자동화 된 준비 챔버 (preparation chamber) 를 특징으로하며, 플라즈마로 샘플을 사전 청소하고, 샘플 레이어를 서브 미크론 두께로 에칭하고, 이온 밀링으로 포스트 클리닝을 수행 할 수 있습니다. 장비에는 또한 리토 틸트 (litho-tilt) 샘플 스테이지가 있으므로 샘플의 3D 기울기 제어가 정확하고 효율적인 표본 스캔 및 세밀한 이미지 처리가 가능합니다. Strata 400S는 Ar 이온 빔 에너지 (Ar ion beam energy) 를 사용하여 공정에 적합한 다양한 압력 및 온도에서 작동 할 수 있으며, 프로세스 제어를 개선하기위한 자동 로드 잠금 시스템을 포함합니다. 또한 빠르고, 정확하고, 효율적인 샘플 전송 장치와 고도로 자동화된 냉각 장치 (cooling machine) 가 장착되어 있습니다. 고급 시스템 외에도, FEI STRATA400S 는 다양한 시스템 및 프로세스의 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 와 원격 운영 (remote operation) 을 제공하는 포괄적인 소프트웨어 패키지를 제공하므로 샘플 준비 프로세스를 완전히 자동화하고 데이터 수집을 개선할 수 있습니다. 이로써 연구개발 (R&D) 을 위한 샘플을 생산할 때 툴이 더욱 효율적이고 정확해집니다.