판매용 중고 PHILIPS / FEI Strata 400 #9302302

PHILIPS/FEI Strata 400 이온 밀링 장비는 트랜지스터 및 마이크로 프로세서와 같은 복잡한 마이크로 전자 장치의 제작에 사용되는 다재다능하고 강력한 에칭 도구입니다. FEI Strata 400은 기판 및 이온 빔을 쉽고 정확하게 배치 할 수있는 3 축 동력 동작 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이온 빔 에너지는 0 ~ 300 볼트에서 조절 가능하며 최대 20 밀리 암페어의 조절 가능한 이온 빔 전류와 결합됩니다. 3 축 동작 제어 장치 (three-axis motion control unit) 를 사용하면 기판을 몇 나노 미터의 두께까지 정확하게 밀링 할 수 있습니다. 필립스 스트라타 400 (PHILIPS Strata 400) 에는 다양한 3D 패턴 및 기타 구조 크기를 이해할 수있는 패턴 인식 머신이 장착되어 있습니다. 또한 다른 재료를 구별 할 수 있으며, 높은 종횡비 피쳐를 정확하게 밀링하기 위해 가장 높은 점을 정확하게 감지 할 수 있습니다. 또한, Strata 400에는 정확한 감도를 위해 이온 빔 전류를 세밀하게 튜닝 할 수있는 닫힌 루프 작동 도구가 포함되어 있습니다. PHILIPS/FEI Strata 400 이온 밀링 자산에는 다양한 가스 전달 시스템이 있으며, 산소를 1 차 에칭 가스로, 염소, 플루오린, 육불화 황 및 제논을 추가 에칭 가스로 사용합니다. 또한 조정 가능한 기체 (gas flow rate) 는 기판 조정 가능한 시간/지속 시간 제어 (time/duration control) 에 걸쳐 광범위한 기체의 흐름을 제어하여 정확한 양의 재료를 정확하게 식각 할 수 있습니다. FEI Strata 400에는 기판 적재 및 제거, 챔버 클리닝, 진공 펌프 유지 보수 및 기타 작업을 자동화하는 소프트웨어를 포함하여 내장 자동화 모델이 제공됩니다. 이 장비는 에칭 (etching) 프로세스를 쉽게 설정하고 작동할 수 있으며, 문제의 경우 오류 처리 (error handling) 도 가능합니다. 필립스 스트라타 400 이온 밀링 시스템 (PHILIPS Strata 400 ion milling system) 은 다양한 응용프로그램에 대한 정확한 구조를 불러오는 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 정밀 모션 컨트롤, 조절 가능한 빔 에너지, 패턴 인식 기술, 가스 전달 시스템, 자동화 (automation) 의 조합으로, 복잡한 나노 스케일 전자 장치를 생산하기에 이상적인 도구입니다.