판매용 중고 PHILIPS / FEI DB 1255 #9356714
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ID: 9356714
웨이퍼 크기: 8"-12"
빈티지: 2006
Focused Ion Beam Scanning Electron Microscope (FIB-SEM), 8"-12"
EDWARDS QDP40 Dry pump
(2) THERMO NESLAB HX 75 Chillers
(2) UPS
2006 vintage.
FEI DB 1255는 샘플 준비를 위해 설계된 이온 밀링 장비입니다. 이 시스템은 다양한 재료에서 고품질 서피스를 생성하는 데 이상적입니다. 전자 빔 (electron beam) 을 사용하여 표면의 물질을 제거하여 매우 매끄럽고 정확한 표면 마무리를 생성합니다. 이온 밀링 공정은 아르곤 가스로 샘플을 폭격하여 이온을 함유 한 플라즈마 (plasma) 를 생성함으로써 작동한다. 그 다음 에 이들 "이온 '들 을" 샘플' 의 표면 으로 향하게 하여 "가스 '나 증기 형태 로 증발 시킨다. "밀링 '공정 은 높은 진공 상태 에서 진행 되는데, 이 공정 은 대기 중 에서 잃어버린 물질 의 양 을 최소화 한다. FEI DB1255 (FEI DB1255) 는 다양한 기능을 갖춘 다기능 장치 (Multi-Functional Unit) 로, 사용자가 샘플 준비 프로세스에 대해 높은 수준의 제어 기능을 제공합니다. 이 기계는 초소형 (ultra-smooth) 과 거울형 (mirror-like) 표면을 비롯하여 다양한 서피스 마무리 및 표본 표면에 패턴을 에치 (etch) 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 고해상도 디지털 텔레비전 자산 (digital television asset) 을 갖추고 있으며, 사용자가 샘플을 매우 정확하게 볼 수 있도록 해줍니다. 이 모델은 2 개의 이온 소스 (내부 소스) 중에서 선택할 수 있습니다. 내부 소스 (높은 이온 빔 전류 및 낮은 호전 전류) 와 약간 더 높은 호전 전류를 가진 낮은 이온 전류를 제공하는 외부 소스 (외부 소스) 입니다. 이온 빔 전류 (ion beam current) 와 방출 전류 (arcing current) 의 정확한 조합은 가공되는 재료의 유형에 따라 샘플에서 다른 수준의 표면 마무리를 달성하기 위해 변할 수 있습니다. 또한, DB 1255 는 다양한 기능을 제공하여 샘플 준비 프로세스를 미세 조정할 수 있습니다. 여기에는 가변 전원 공급 장치, 자동 시간 제어 셔터, 다양한 소프트웨어 도구가 포함됩니다. 이러한 모든 기능은 고급 이온 밀링 프로세스와 결합하여 DB1255 를 다양한 샘플 준비 (sample preparation) 애플리케이션에 이상적인 장비로 만듭니다.
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