판매용 중고 OXFORD Ionfab 300 Plus #9261769
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ID: 9261769
빈티지: 1994
Ion Beam Etching (IBE) system
(4) Mass Flow Controllers (MFC)
Targets, 4"
Argon to mill metal layers on silicon wafers
Etching gun: 15 cm
Gun: 3 cm
Tooling, 8"
Upgraded motor controller
Manual
1994 vintage.
옥스포드 이온 밥 300 플러스 (OXFORD Ionfab 300 Plus) 는 유연하고 고성능 이온 밀링 장비로, 금속, 화합물, 반도체와 같은 다양한 재료에 빠르고 안정적인 마이크로 구조 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 칩 제작, 저항 트리밍, 격리 에칭 (isolation etching), 손상 제거 (damage removal) 등 다양한 정밀 프로세스에 적합합니다. 이 시스템의 구조와 설계를 통해 단일 (single) 및 다중 (multi) 기판 및 재료의 두께와 프로파일을 빠르고 정확하게 제어할 수 있으며, 기존의 이온 밀링 시스템보다 더 긴 작업 거리에서 더 높은 수준의 고급 피쳐 (fine feature) 정의를 제공할 수 있습니다. Ionfab 300 Plus는 모든 가스 보조 소스를 사용하여 양극에서 마모와 음극 전극을 최대 65% 줄일 수 있습니다. 이는 기계의 수명 연장 (life-span) 을 통해 더 긴 운영 주기와 더 적은 유지 관리 비용을 초래합니다. 장치의 내부 구성 요소는 매우 사용자 정의됩니다. 그 전자 공급원 은 저비용, 저압 "빔 '을 위해" 이온 빔' 발전기 를 사용 하여 위험 한 "파라미터 '없이 고도 의" 에너지' 광선 을 제공 한다. 그것 의 "챔버 '제어기 는" 가스' 를 기판 으로 흐르는 것 과 더불어 진공 "챔버 '환경 상태 를 제어 한다. 이 도구는 또한 자동 진공 컨트롤러 (automated vacuum controller) 와 펌프 (pump) 의 자산을 사용하여 챔버 내 진공 환경을 유지합니다. 즉, 모델이 최적의 온도에서 실행되어 최고 수준의 결과를 얻을 수 있습니다. OXFORD Ionfab 300 Plus (Ionfab 300 Plus) 는 고급 장비 자동화 소프트웨어 플랫폼으로 구동되며, 전체 시스템을 직접 제어하고 모니터링할 수 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 기술자와 운영자는 복잡한 프로세스 레시피를 신속하게 만들고 할당할 수 있으며, 단위 성능을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 또한 Ionfab 300 Plus 는 운영자 및 작업 환경 보호를 위해 다양한 안전 기능을 제공합니다. 국제 안전 표준 (International Safety Standard) 을 준수하며 프로세스 오류가 발생할 경우 다양한 경보기 (Alarm Machine) 를 갖추고 있습니다. 전반적으로 OXFORD Ionfab 300 Plus는 신뢰할 수 있고, 다양하며, 비용 효율적인 이온 밀링 솔루션을 찾는 사람들에게 탁월한 선택입니다. 고급 구성 요소, 고도로 사용자 정의 가능한 설계, 강력한 자동화 플랫폼 등, 모든 마이크로 구조화 (micro-structuring) 애플리케이션에 적합합니다.
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