판매용 중고 OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300 Plus #293768259

OXFORD INSTRUMENTS IONFAB 300 Plus는 정확한 표면 나노 구조를 위해 설계된 고급 이온 밀링 장비입니다. 이 시스템은 실리콘, 유리, 다이아몬드, 사파이어 및 기타 와이드 밴드 간극 재료 (옵션) 를 포함한 기판 배열을 수용하도록 제작되었습니다. 이 제품은 완전하게 자동화된 공구 스택 (tool-stack), 향상된 수율 균일성을 위한 최적화된 리소그래피 (lithography) 및 정확한 프로세스 제어를 위한 조정 가능한 깊이와 조절 가능한 각도를 갖춘 광범위한 챔버 (chamber) 영역을 갖추고 있습니다. 이 장치는 에칭 (etching), 박막 배치 (depositing thin film), 마이크로 패턴 생성 등 다양한 밀링 응용 프로그램에도 호환됩니다. Ionfab 300 Plus는 영역 밀도 및 에너지 분포의 정확한 플라즈마 측정을 사용하여 이온 빔의 총 제어를 보장합니다. 5 ~ 200 eV 범위에서 낮은 에너지 이온 빔을 생성하고 최대 10 mA 의 전류를 생성 할 수있는 이온 소스가 있습니다. 이 기계는 또한 최적의 밀링 성능을 달성하기 위해 균일하고 안정적인 이온 빔을 유지하는 이온 광학 열 (ion optical column) 을 갖춘 조절 가능한 이온-광학 패키지를 가지고 있습니다. 이 도구에는 높은 정확도 패턴 (pattern creation) 을 위한 정밀 조정과 정확한 처리를 위한 열 근접 조정이 가능한 고급, 자동 단계 (automated stage) 가 장착되어 있습니다. 또한 OXFORD INSTRUMENTS IONFAB 300 Plus는 정확한 박막 증착 및 이온 임플란테이션을 허용하는 사전 임플란트 분사 단계를 특징으로합니다. 여기에는 최대 1 nm 해상도를 달성 할 수있는 고해상도 이미징 (High Resolution Imaging) 자산이 포함되어 있으며, 용량 크기를 조정하여 여러 기판 수준에서 균일 한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 모델은 진공 호환 프로세스를 보장하고 밀링 시간을 연장하기 위해 진공 프로토콜 (vacuum protocol) 과도 호환됩니다. OxfordsIonfab 300 Plus는 고급 마이크로 및 나노 구조 표면 구조의 연구 및 개발에 관련된 사람들에게 이상적인 선택입니다. 즉, 사용자 친화적인 소프트웨어로 설계되어, 정확성과 성능 저하 없이 설치와 사용이 매우 간편합니다. 이 장비는 모든 실험실에 귀중한 추가물이며, 고급 (advanced) 프로세스를 통해 보다 뛰어난 제어, 정확성, 균일성을 제공합니다.