판매용 중고 NANO-MASTER NIE 4000 #9182949
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 9182949
빈티지: 2016
Ion beam etching system, 14.5"
Physical etching with accelerating Ar ions
Patterned with thick resist for masking
Energetic ion flux during etching overheats:
Substrate
Resist
Substrate temperature: <50°C
SS Cube ion beam chamber
DC Ion gun: 12 cm, 1000 V, 500 mA
DC Motor driven: SS Shutters
Ion beam neutralizer
Ar MFC
Chilled water cooled: Substrate platen, 6"
Wafer rotation: 3-10 RPM
Vacuum stepper motor
Wafer tilt with stepper motor
Pumped rotational seal
Manual / Automatic wafer: Load / Unload
Typical etch rates:
Cu: 20 nm/min
Si: 50 nm/min
Etch uniformity: +/- 5% over 4" area
Turbo pump:
Base pressure with 500 1/sec:
5 x 10-6 Torr < 20 minutes < 2 x 10-7 Torr
Base pressure with 1000 1/sec: 8 x 10-8 Torr
Protect etched metal surfaces from oxidation
Recipe driven
Password protected
Safety interlocked
Missing part: Foreline pump
2016 vintage.
NANO-MASTER NIE 4000은 높은 정밀도 데이터 및 높은 표면 플럭스 속도를 제공하도록 설계된 이온 밀링 장비입니다. NIE 4000은 집중된 이온 빔 (FIB) 을 사용하여 다양한 기판에서 나노 크기의 구조와 재료를 만듭니다. 이 기계는 다양한 샘플 크기를 수용 할 수있는 2 개의 통합 챔버 (Integrated Chamber) 를 포함하여 고품질의 컴팩트 한 디자인을 갖추고 있습니다. NANO-MASTER NIE 4000 시스템은 액체 질소 냉각 장치, 컴퓨터 제어 작동 장치 및 이온 빔이 생성되고 집중되는 챔버로 구성됩니다. 기계 의 중앙 에 "이온 '원 이 있는데, 그곳 에서 FIB가 생성 된다. 이 고정밀 이온 빔은 금속, 박막 기판을 포함한 다양한 물질로부터 초미세 나노 구조를 생성 할 수 있습니다. 전자동 가스 컨디셔닝 장치 (Fully Automated Gas Conditioning Unit) 는 샘플에서 잔류 오염 물질을 제거하여 최고 품질의 데이터를 제공하는 데 도움이됩니다. NIE 4000을 사용하면 이온 빔 에너지, 빔 전류 및 포커스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이를 통해 정확한 정밀도로 다용도 제작이 가능합니다. NANO-MASTER NIE 4000은 특수 소프트웨어 패키지를 사용하여 이미징, 정밀 깊이 프로파일 및 패턴화에도 사용할 수 있습니다. 또한 사용자 인터페이스를 통해 모니터링, 자동화 및 사용자 제어를 수행할 수 있습니다. 따라서 사용자의 특정 구성 요구 사항에 맞게 프로그램을 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. NIE 4000의 통합 정전기 렌즈 (electrostatic lens) 는 더 큰 작동 거리를 제공하여 이온 침투를 줄이는 데 도움이됩니다. 또한, 큰 샘플 스테이지를 사용하면 더 많은 샘플을 단일 런으로 처리 할 수 있습니다. 향상된 컴퓨터 제어 작동 도구는 나노 미터 스케일에서 정확하고 일관된 데이터를 보장합니다. NANO-MASTER NIE 4000은 정밀 나노 재료 제조에 이상적인 자산입니다. 첨단 FIB 기술과 고정밀 엔지니어링은 뛰어난 성능과 정확성을 제공합니다. NIE 4000 은 사용자 정의, 정확도, 속도를 향상시켜 고급 (advanced) 이온 밀링 솔루션을 찾는 고객에게 이상적인 솔루션입니다.
아직 리뷰가 없습니다