판매용 중고 LAM STRATA-3 #293609729

LAM STRATA-3
제조사
LAM
모델
STRATA-3
ID: 293609729
빈티지: 2022
System Process: CVD 2022 vintage.
LAM STRATA-3은 정밀하고 균일 한 재료 제거를 위해 설계된 이온 밀링 장비입니다. 이온 빔 (ion beam) 은 이온 소스에 의해 생성 된 다음 비활성, 초고진공 환경에서 샘플 작업 조각을 지시합니다. 이온 빔 (ion beam) 은 샘플의 표면에 도달하기 전에 전기장을 통과하여 이온 밀링 공정 (ion milling process) 에 의해 재료의 잘 정의 된 제거를 허용한다. 이온 빔 (ion beam) 은 샘플의 표면에 흡수되어 주위에 플라즈마 구름 (plasma cloud) 을 만들고 원자의 결합에서 입자를 해방시킨다. 그 다음 에 이들 "이온 '화 된 입자 들 을" 샘플' 에서 방어 장치 로 옮겨 놓고, 그 들 을 수집 하여 "이온 '원 으로 돌려보낸다. 이 과정 을 통해 "플라즈마 '의 도펀트' 및 미량 원소 를 정확 히 제어 하여 재료 와 제어 된 물질" 플라즈마 '생성 을 정확 히 제거 할 수 있다. STRATA-3 이온 밀링 시스템은 3 축 리프트 열이있는 자동 장치를 기반으로합니다. 이 구성을 사용하면 밀링 프로세스 동안 샘플을 정확하게 배치할 수 있습니다. 표에는 이온 빔 (ion beam) 아래의 샘플 재료를 공급할 수있는 서보 모터 (servo-motor) 가 장착되어 있으며, 관련 에너지는 밀링 성능을 최적화하기 위해 미세하게 조정 할 수 있습니다. 이온 소스는 원 피스 리프트 쿼츠 창 (One-piece lift quartz window) 에 연결되어 빔 정렬의 정밀도를 높입니다. LAM STRATA-3 기계는 영향을 받는 10mm 깊이의 재료로 최대 5cm 직경의 샘플을 처리하도록 설계되었습니다. 그런 다음 샘플을 리프트 열에 로드하여 이온 빔 조정 (ion beam adjustment) 및 전자 총 (electron gun) 을 샘플 확대합니다. 조절 가능한 이온 소스는 0.1 ~ 50 mA 범위의 빔 전류를 생성하도록 설정 될 수 있으며, 에너지는 최대 20 keV이며 빔 크기는 1 ~ 5 m입니다. 원하는 설정이 완료되면, 밀링은 선택 가능한 수의 플라즈마 수 (plasma count) 와 오버플로 타이머 (overflow timer) 로 시작하여 안정적이고 정확한 프로세스를 유지할 수 있습니다. STRATA-3 의 운영자 인터페이스는 이온 밀링 (ion milling) 환경을 단순화하도록 설계된 다양한 직관적인 옵션을 제공합니다. 사용자는 정확한 샘플 정렬을 위해 변환 (translation), 회전 (rotation) 또는 기울기 (tilt) 미리 프로그래밍된 위치를 선택하여 샘플을 설정할 수 있습니다. 그런 다음, 운영자는 전체 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있는 원격 뷰어 (remote viewer) 를 사용하여 이온 밀링 (ion milling) 작업을 모니터링할 수 있습니다. 기존의 이온 밀링 시스템과 달리 LAM STRATA-3은 고품질 플라즈마 프로파일과 뛰어난 표면 마무리로 IMS 프로세싱의 정밀도를 향상시킵니다. 이 도구의 안전 연동 (Safety Interlock) 과 고품질 컴포넌트는 신뢰할 수 있는 이온 밀링 (Ion Milling) 및 확실한 제품 품질을 제공합니다. STRATA-3 는 업계 최고의 마모 방지 쿼츠 창 (abrasion-resistance quartz window) 과 리프트 열 (lift column) 의 범용 설계와 함께 다양한 어플리케이션에서 최적의 성능을 보장합니다.
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