판매용 중고 LAM STRATA-3 #293609722

LAM STRATA-3 (Low Energy ion milling) 은 다양한 재료 처리 응용 분야를 위해 설계된 최신 이온 밀링 장비입니다. 저에너지 이온 에칭 (예: 청소, 패턴, 평면) 이 필요한 응용 분야에 이상적입니다. 시스템은 스캔 헤드, 진공 챔버, 웨이퍼 스테이지 및 HV 소스로 구성됩니다. 스캔 헤드는 전체 샘플 영역에 대한 광범위한 입자 빔 스캔 제어를 제공합니다. 진공실 은 작업 구역 에서 조종 된 진공 상태 를 유지 하는 데 도움 이 되며, "스캐닝 '머리 에 연결 되어 있다. 웨이퍼 스테이지는 진공 챔버에 샘플을 배치하는 데 용이합니다. 마지막으로 HV 소스는 빔 전류를 활성화하는 데 사용됩니다. 이 장치는 3 개의 이온 밀링 총으로 구동됩니다. 작은 입자에 대한 공차가 높으며, 기본 레이어를 손상시키지 않고 샘플 재료의 최상위 레이어 (top layer) 를 제거하는 데 사용됩니다. 이 기계는 다양한 응용을위한 저에너지 (low-energy) 와 고에너지 건 (high-energy gun) 을 모두 갖추고 있습니다. 이 공구에는 새로 개발 된 하이드로 키네틱 챔버 (hydrokinetic chamber) 가 장착되어 있어 유체 역학적 흐름이 강하고 이온 빔의 이온 배경을 줄입니다. LAM-STRATA-3 (LAM-STRATA-3) 은 독특한 웨이퍼 처리 자산으로, 이온 총이 작동 중일 때 웨이퍼가 제자리에 유지됩니다. 웨이퍼 공급 장치, 척 (chuck) 및 냉각 시스템은 모두 이온 밀링 모델에 통합되어 있습니다. "척 '은" 이온' 을 방출 하는 동안 "웨이퍼 '를 보유 하고 있으며, 공급 장비 는" 웨이퍼' 가 "이온 '총 에 정확 하고 정확 하게 제공 되도록 보장 한다. 냉각장치 는 "웨이퍼 '의 온도 를 조절 하여 열 흡수 를 감소 시키고 더 나은" 에칭' 결과 를 촉진 시킨다. 이 장치는 알루미늄 및 티타늄과 같은 다른 재료와 호환됩니다. 연속적인 에치 처리를 수행할 수 있으며 최대 50 미크론 깊이의 샘플을 에치 할 수 있습니다. LAM-LAM STRATA-3 용으로 개발 된 소프트웨어는 무제한 수의 웨이퍼 처리를 허용합니다. 또한, 기계는 챔버 리필링 및 퍼징을 특징으로하며, 깨끗하고 매우 깨끗한 환경을 만듭니다. LAM-STRATA-3은 다양한 재료 처리 응용 분야에 이상적인 도구입니다. 경제적인 가격으로 강력하고 안정적인 솔루션을 제공합니다. 이 자산은 사용자에게 최고의 결과를 제공하기 위해 고이온 빔 전류 (high ion beam current) 및 히드로 키네틱 챔버 (hydrokinetic chamber) 와 같은 고급 기능으로 설계되었습니다.