판매용 중고 IONTECH IBD #293619172

IONTECH IBD는 제조, 프로토 타이핑 및 연구 용도로 특별히 설계된 고해상도 이온 밀링 장비입니다. 고온 플라즈마를 사용하여 갈륨 비소 (GaAs) 및 폴리 이미 드 기질을 포함한 물질을 탈피합니다. IBD는 특히 미세 및 나노 전기 기계 시스템 (MEMS/NEMS) 을 포함한 박막 장치 제작에 적합합니다. 이 시스템은 스퍼터링 (sputtering) 과 이온 밀링 챔버 (ion milling chamber) 를 사용하여 20 밀리토르의 기본 압력으로 펌핑 할 수 있습니다. 밀링 공정 에는 "아르곤 '" 가스' 의 고에너지 "이온 빔 '을 사용 하는 것 이 포함 되며, 이것 은 가공 할 물질 의 표면 을 폭격 한다. 동시에, 에치의 깊이를 제어하기 위해 DC 바이어스 전압이 적용됩니다. "이온 '이 물질 을 관통 할 때, 그 들 은 꼭대기 층 을 분출 하여 크기 가" 미크론' 에서 "나노미터 '에 이르는 구덩이, 참호 및 구조 를 형성 한다. IONTECH IBD는 또한 조절 가능한 미세 초점 렌즈 (Fine Focusing Lens) 를 특징으로하여 빔 전류, 전압 및 펄스 지속 시간 (Pulse Duration) 과 같은 빔 매개변수를 정확하게 조작 할 수 있습니다. 따라서, 사용자는 밀링 (milling) 프로세스를 쉽게 조정하여 구조의 필요한 크기와 깊이를 생성할 수 있습니다. 온도 조절 벨로우 장치 (tempered bellows unit) 와 통합 냉각수 바이 패스 (integrated coolant bypass) 를 사용하여 밀링 헤드를 쉽게 이동하고 재료 표면 주위에 높은 정밀도로 배치할 수 있습니다. 이는 고해상도와 반복성을 모두 보장하는 동시에, 기판의 손상을 방지합니다. 또한, IBD 는 고급 측정 및 데이터 로깅 (data logging) 기능을 갖추고 있어 재료 제거 속도 (rate of material removal) 및 이온 에너지 수준 (ion energy level) 과 같은 중요한 밀링 매개변수를 모니터링할 수 있습니다. 이 데이터는 밀링 프로세스를 분석하고, 프로세스에 대한 심층적인 통찰력을 제공하고, 사용자가 원하는 결과를 얻을 수 있도록 시스템 최적화 (optimize the machine) 를 가능하게 하는 데 사용될 수 있습니다. 마지막으로, IONTECH IBD는 다중 기판을 지원하고 공구 오염을 감소시키는 다중 계층 밀링 챔버 (multi-layered milling chamber) 를 특징으로하므로 고정밀 장치 제작이 가능합니다. 또한 OS-3 Operating Software는 일상적인 많은 작업 작업을 자동화합니다. 요약하자면, IBD는 제조, 프로토타입, 연구 작업을 위해 설계된 고급 이온 밀링 도구입니다. 고해상도 (High-Resolution) 기능, 조정 가능한 빔 매개변수 및 데이터 로깅 기능을 통해 정확한 결과와 효율적인 작동을 보장할 수 있습니다.