판매용 중고 ION TECH / VEECO Sourcerer #9156278
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ID: 9156278
Ion beam milling system
Ion-Tech 21cm DC guns
MPS 5001 power supplies
Auto gas controller
CTI 10 Cryo pump
SEC-1000-RAP Vacuum system.
ION TECH/VEECO Sourcerer는 반도체, 금속 및 합금의 nanofabrication에 사용되는 이온 밀링 시스템입니다. 이 최첨단 도구는 다양한 재료와 장치에 대해 정확하고, 고품질 에칭을 제공합니다. VEECO Sourcerer의 주요 특징은 집중된 이온 빔 (FIB) 을 사용하여 정확한 정밀도로 미세, 나노 스케일 구조 및 기능을 만드는 기능입니다. 이 시스템은 이온 원, 주사 전자 현미경 (SEM) 및 표본 단계를 수용하는 진공 챔버로 구성됩니다. 표본 스테이지에 샘플이 배치되며, 이는 3 차원으로 조작 될 수 있으며, FIB가 원하는 정확한 각도에서 샘플을 공격 할 수 있습니다. 이온 빔은 매우 정확한 위치와 깊이에서 샘플을 에치 할 수 있습니다. 이 작업은 SEM 을 통해 실시간으로 모니터링되며, 필요에 따라 결과를 조정할 수 있습니다. ION TECH Sourcerer의 FIB 소스는 높은 에너지에서 작동하며 Xenon, Argon 또는 Oxygen과 같은 다른 재료의 이온/원자를 제공 할 수 있습니다. "이온 '은 보통" 그리드' 와 정전기 "렌즈 '를 통하여 가속 되는데, 그 후 에 40" 킬로볼트' 의 전압 으로 시료 를 치게 된다. 소스러 (Sourcerer) 는 또한 최대 100nA의 가변 FIB 빔 전류를 제공하며, 이는 에칭 영역에 따라 조정 될 수 있습니다. 에칭 과정에서, 진공 압력 및 표적 기질 온도도 조작 될 수있다. 이를 통해 에치 특성을 보다 효과적으로 제어 할 수 있습니다. 에칭 정도, 에칭 깊이 및 침식 속도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, 시스템은 다양한 유형의 검출기, 빔 래스터 및 전자 침전기 이온으로 사용자 정의 할 수 있습니다. 이렇게 하면 전체 샘플에 균일한 에칭이 가능해지며, 이를 통해 고급 기능 해상도를 얻을 수 있습니다. 마지막으로, ION TECH/VEECO 소스러 (Sourcerer) 는 사용자 친화적 인터페이스로 제작되어 작동이 용이하여 품질과 효율성이 향상되었습니다. VEECO 소스러 (VEECO Sourcerer) 는 종합적인 기능 및 기술 포트폴리오를 제공하여 나노 스케일 반도체 제조, 금속 에칭 및 나노 가공을위한 완벽한 도구입니다. 이 다용도 장치 (versatile unit) 는 복잡하고, 고품질의 기능과, 극도의 정밀도 및 속도를 지닌 구성 요소를 만들어 내어 반도체 업계에서 안정적이고 효과적인 도구입니다.
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