판매용 중고 GATAN 691 #9253807

GATAN 691은 "이온 밀링 (ion milling)" 장비로, 반도체 장치와 같은 나노 스케일 샘플의 제조 및 검사에 사용되는 물리적 에칭 유형입니다. 이 시스템은 이온 소스, 전원 공급 장치, 진공 챔버, 다양한 빔 농축기 및 디지털 자동화 소프트웨어로 구성됩니다. 이 장치는 0.1 나노 미터 정밀도까지 정밀 성능을 낼 수 있습니다. 그것 은 깊이 150 "나노미터 '까지 내려갈 수 있으며, 가장 정확 하고 신뢰 할 수 있는" 이온' 밀링 장치 중 의 하나 이다. 691은 내구성 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 및 기타 녹에 강한 재료로 만들어져 있으며, 장기적인 안정적인 작동을 보장합니다. 기계의 기본 구성 요소는 2 개의 이온 소스, 세슘 및 크립톤입니다. "세슘 '은 주된 원천 이며, 전류 와" 에너지' 밀도 가 크기 때문 에 식각 이 더 빠르다. 이 도구의 낮은 입자 중성자기는 또한 더 높은 에치 레이트 성능을 허용합니다. 크립톤 소스는 더 높은 에너지 밀링 및 이미징 응용 분야에 사용됩니다. 두 소스 모두 정교한 냉각 자산과 다양한 빔 농축기 (beam concentrator) 가있는 진공 챔버에 보관되어 있습니다. 이 설계는 안정적인 작동과 최대 성능을 보장합니다. GATAN 691은 400W DC 전원 공급 장치로 구동되며, 디지털 자동화 및 소프트웨어를 통해 제어됩니다. 자동 제어판 (Automated Control Panel) 은 다중 마스크 웨이퍼 및 샘플을 분석할 수 있는 장비로 모델의 성능을 프로그래밍 및 모니터링하기 위해 포함되어 있습니다. 다양한 이미징 및 분석 루틴도 시스템에서 수행할 수 있습니다. 여기에는 X- 선 분광법, X- 선 빔 표면 매핑, 기계 분석, 광학 미니 통합 반사율 분광법 등이 포함됩니다. 이 광범위한 분석 도구는 나노 스케일 (nanoscale) 장치의 제작에서 품질 보증을 위한 이상적인 선택입니다. 마지막으로, 안전 기능은 이온 밀링과 관련된 모든 위험 (hazard) 에 대한 보호를 제공하기 위해 내장되어 있습니다. 여기에는 비상 사태가 발생할 경우 전원 공급 장치를 자동으로 차단하는 자동 화면 안전 장치 (Autostop Safety Unit) 가 포함됩니다. 다른 온보드 안전 시스템 (On Board Safety System) 은 기계의 진공 압력을 측정하고 유지하고 우발적 인 오차 이온 빔을 방지합니다. 요약하면, 691은 가장 안정적이고 정밀한 이온 밀링 시스템 중 하나입니다. 나노 스케일 (Nanoscale) 샘플을 엄청난 정확도로 에칭할 수 있으며 나노 스케일 (Nanoscale) 장치 생산에서 품질 보증을 보장하기 위해 다양한 분석 및 이미징 루틴을 제공합니다. 또한 다양한 안전 기능 (Safety Features) 은 사용자와 도구 자체에 대해 최고의 수준의 보호를 보장합니다.