판매용 중고 GATAN 691 #9106181

개탄 691 (GATAN 691) 은 초정밀 재료 제거 및 표면 수정 프로세스를 위해 설계된 고화질 이온 밀링 장비 (Fidelity Ion Milling Equipment) 로, 재료 연구 및 미세 구조 분석을위한 표본 만들기 등 다양한 응용 분야에 사용됩니다. 3 축 단계 제어 진공 호환 시스템으로, 모든 축에서 ± 0.1 ° 의 정확도로 이온 임핑의 방향을 정확하게 배치 및 배치 할 수 있습니다. 이온 밀링은 HRIM (High Resolution Imaging Mode), 저전압 또는 고전압 에칭에서 발생할 수 있습니다. 이 단위는 액체 질소 냉각 탄소 필라멘트 전자 총 (carbon filament electron gun) 을 사용하여 이온의 빔을 기질 쪽으로 지시하는 에너지 이온을 생성합니다. 가변 전압 전원 공급 장치는 제어 및 정밀 이온 밀링을 위해 빔 전류 밀도를 조절하는 데 사용됩니다. 6 면 조리개가있는 투과 형 진공 챔버 (transmissive type vacuum chamber) 는 전자 폭격을 줄이고 빔 스팟 초점을 향상시킵니다. MillSpec ™ 컨트롤러를 사용하면 모든 전원 공급 장치, 가공소재 및 챔버 매개변수를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 691은 향상된 포인팅 안정성, 기판에 중점을 둔 핀포인트 빔 (pinpoint beam), 더 빠른 처리량, 이전 모델에 대한 유지 보수 감소 등 향상된 기능을 통합했습니다. 여기에는 처리 중 반응성 대기 또는 비활성 대기에서 재료를 사용할 수있는 CLS (Closed-Loadlock Machine) (옵션) 가 포함됩니다. 또한, 이 도구는 사용자가 이온 빔 (ion beam) 을 빠르게 발사 할 수있는 가변 듀티 사이클 (variable duty cycle) 을 포함하여 고해상도 이미징을위한 정전기 및 자기 청소 환경을 가지고 있습니다. 이 자산은 특수 설계 된 저전압 에미터를 사용하며, 직경이 최대 25mm 인 샘플을 동시에 밀링, 에치, 코팅 할 수 있습니다. 이 모델은 최대 0.5mm 두께의 섬세한 서피스가 있는 샘플을 수용할 수 있는 TES (Transition Exclusion Shield) 를 사용합니다. 이 장비에는 특허를 받은 DINO ™ 노드 로터리 (rotary) 가 장착되어 있어 샘플 기울기 각도를 제어 및 모니터링하는 동안 샘플 로드 및 언로드가 가능합니다. 전체 시스템은 소형 캐비닛 (compact cabinet) 으로 둘러싸여 있으며 밀링 프로세스 동안 모든 작동 매개변수를 관리하는 여러 경보가 있는 내장 안전 (Bist-In Safety) 기능을 제공합니다.