판매용 중고 GATAN 691 #293826057
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개탄 691 (GATAN 691) 은 가장 복잡한 금속 및 세라믹 표면의 정밀 밀링에 대한 서브 미크론 정확도를 제공하는 최첨단 이온 밀링 장비입니다. 깊이 조절 (depth control), 서피스 마무리 (surface finish) 및 균일성 (unifority) 의 독특한 조합을 제공하여 가장 까다로운 nanofabrication 응용 프로그램에 이상적인 선택이 가능합니다. 이 시스템은 금속과 도자기를 형성하기 위해 최대 5 keV의 고출력 이온 빔의 질소 또는 아르곤 에너지를 사용합니다. 빔은 샘플의 서피스 위에 주어진 각도로 스캔됩니다. 이온 빔은 일정한 주파수로 표면을 폭격합니다. 그러면 레이어별로 서피스 재료 레이어가 제거됩니다. 전압 및 빔 전류를 조정하면 밀링 피쳐의 서피스 마무리, 깊이, 균일 (surface finish) 을 제어할 수 있습니다. 가변 주파수 (variable frequency) 로 빔을 작동시켜 복잡한 패턴에 더 높은 표면 해상도를 제공 할 수 있습니다. 691 에는 정밀 단계 (precision stage) 가 장착되어 있어 샘플의 위치와 방향을 정확하게 제어할 수 있습니다. 스테이지는 또한 샘플을 다른 각도로 유지하고 동적 방향 설정 (dynamic orientation) 을 허용합니다. 단계는 고해상도 디지털 현미경과 통합되어 있습니다. 이렇게 하면 이온 빔과 관련하여 샘플을 빠르고 정확하게 정렬할 수 있습니다. GATAN 691에는 다양한 소프트웨어 분석기가 함께 제공됩니다. 여기에는 샘플의 최종 서피스 마무리를 분석하는 서피스 프로파일 도구 (Surface Profiles Tool) 와 밀링된 피쳐의 컨투어를 시각화하는 컨투어 프로파일 도구 (Contour Profiles Tool) 가 포함됩니다. 691 은 또한 강력한 3D 시각 형상 장치 (3D Visualization Unit) 를 갖추고 있어 운영자가 도와주지 않는 세부 사항을 식별할 수 있습니다. 전반적으로 GATAN 691 이온 밀링 머신 (ion milling machine) 은 서브미크론 정확도와 고품질 성능이 필요한 고급 나노 분류 애플리케이션을 위한 필수 도구입니다. 높은 처리량 제작에 적합하며, 빠른 처리 시간을 보장합니다.
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