판매용 중고 GATAN 691 #293752323

개탄 691 (GATAN 691) 은 첨단 이온 밀링 장비로, 이온 밀링 (ion milling) 이라는 공정을 통해 광범위한 재료의 정밀 표면 수정을 용이하게한다. 이 시스템은 갈륨 이온 밀링의 "건식" 정밀 에칭 기술을 사용하여 재료 표면 및 3 차원 (3D) 기능에 대한 뛰어난 제어를 가능하게합니다. 691 장치는 실리콘, 알루미늄, 탄소, 이산화규소, 질화실리콘 및 텅스텐을 포함한 반도체 또는 절연 물질의 고속 밀링을 허용하도록 설계되었습니다. 이 기계에는 0.5 keV ~ 10 keV 범위의 에너지로 집중된 이온 빔을 제공 할 수있는 초저에너지 이온 소스가 있습니다. 또한, 강력한 20 W 갈륨 이온 소스로, GATAN 691은 최소한의 담보 손상으로 매우 높은 품질의 밀링 결과를 제공 할 수 있으며, 특히 충실도가 높은 재료에 이상적입니다. 또한, 견고한 제어 도구를 사용하여 처리 시 각도와 거리를 정확하게 변경할 수 있으며, 이를 통해 사용자 정의 (custom) 기능과 고밀도 (high-precision) 에칭을 생성할 수 있습니다. 691 (691) 에는 고해상도 스테이지 이동을 포함하여 몇 가지 유리한 기능이 있으며, 이는 100 nm 크기의 피쳐 크기로 표면 패턴화에 적합합니다. 시청 및 실시간 표면 평가를위한 광학 시스템; 후처리 산화를 피하기 위해 진공을 유지하는 통합 하중 잠금. 또한 인원과 장비를 안전하게 유지하는 격리 된 안전 시스템, 초저압 저항 난방 자산, 이미징을 위해 설계된 폐쇄 된 줌 렌즈 (closed-zoom-lens) 구성도 포함됩니다. GATAN 691 의 사용자 친화적 인터페이스에는 프로세스 레시피 설정, 제어 및 모니터링을 위한 직관적인 GUI (Graphical User Interface), IQ/OQ 검증 기능이 있는 유연한 모델 자동화 모듈, 운영 효율성 향상을 위한 원격 액세스 옵션이 있습니다. 또한 포괄적인 실시간 진단 모듈 (real-time diagnostics module) 이 포함되어 있어 장비 문제를 신속하게 해결하고 해결할 수 있습니다. 이러한 기능 외에도, 691에는 다양한 에너지 필터링 이미징 및 분광 기술을 지원하는 벤치 탑 이온 빔 (bench top ion beam) 분석 시스템이 포함되어 있습니다. 이 장치에는 강력한 터보 펌프 (turbo pump) 지원과 처리량 및 처리 시뮬레이션 증가를위한 5 스테이션 팔레트 체인저가 제공됩니다. 마지막으로, GATAN 691은 리소그래피에서 샘플 및 표본 준비에 이르기까지 다양한 응용 분야에 적용 될 수 있습니다. 전반적으로, 691은 전례없는 속도와 제어로 생산 규모, 표면 수정 프로세스를 가능하게하도록 설계된 고급 이온 밀링 머신입니다. 저에너지 이온 (ion) 기술과 제어된 무대 이동을 결합한 GATAN 691은 고정밀도 (high-precision) 기능과 표면을 제작하는 안정적이고 효율적인 도구를 제공합니다.