판매용 중고 GATAN 691 #293619345

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제조사
GATAN
모델
691
ID: 293619345
Precision Ion Polishing System (PIPS).
GATAN 691은 샘플 표면의 표면 준비 및 나노 스케일 수정에 사용되는 이온 밀링 장비입니다. 이 시스템은 무선 주파수 (RF) 커패시터와 빔 모양의 자석을 갖춘 진공 챔버 (vacuum chamber) 로, 하전 된 이온 빔의 방향을 정확하게 제어합니다. 691 단위는 나노 스케일 (nanoscale) 에서 정상적이고 부드러운 재료를 제거하는 밀링 공정에 활력 이온을 사용합니다. 이것은 세 단계로 수행됩니다. 이온의 초기 청소 과정 (주로 아르곤 (Argon)) 은 샘플에 고착 한 윤활제/오염 물질을 제거하는 데 사용된다. 그런 다음 에칭 단계를 사용하여 재료에 나노 스케일 피쳐를 생성합니다. 마지막 어닐링 시퀀스 (final annealing sequence) 는 이온 빔 (ion beam) 과 관련이 있으며, 이는 이전 에칭 공정으로 인한 표면 손상을 복구하는 데 사용됩니다. 기계는 다중 축 고니 오미터 (goniometer) 와 함께 컴퓨터 제어 진공 제어 챔버 (computer-controlled vacuum-controllem chamber) 를 가지고 있으며, 이는 샘플 표면의 회전 및 기울기를 정확하게 제어합니다. 고니 오미터 (goniometer) 는 내부 이미징의 샘플을 배치하고, 정확한 배치 및 조정을 위해 원하는 밀링 결과를 달성하는 데 사용됩니다. 또한, 이 도구에는 특정 응용 프로그램에 맞게 조정할 수있는 빔라인/검출기/필터 배열이 있습니다. 최대 200 mA의 높은 이온 전류 범위를 가진 GATAN 691은 장치 제작, 나노 구조 조정, 박막 증착, 샘플 준비 등 다양한 응용 분야에 사용됩니다. 아르곤, 제논, 탄소와 같은 양성 이온과 최대 6 keV 전자 빔을 사용한 조사에 적합합니다. 691은 사용자 친화적이고 직관적인 인터페이스를 제공하여, 쉽고 효율적으로 작동할 수 있습니다. 전체 자산의 자동 정렬 (Automatic Alignation), 전원 끄기 보호 (Power-Off Protection) 등 성능 및 신뢰성을 향상시키는 기능을 통해 설계되었습니다. 인터 로크 (Interlock) 는 적절한 교육을 받고 사용할 수있는 인증을 받은 사람들에게만 작동을 제한합니다. 또한, 모델을 정밀한 레이저 간섭계 (laser interferometry) 및 다중 축 모터 (multiple-axis motor) 와 같은 추가 피쳐로 구성하여 정밀한 결과를 추가로 확인할 수 있습니다. 개탄 691 (GATAN 691) 장비는 효율성이 뛰어나며, 저렴한 비용으로 우수한 품질과 표면을 수정합니다. 또한 매우 정확하고 유연하며, 특정 프로세스 제어 및 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 이 시스템은 정확하고 정확한 전문성 표면 준비 및 나노 스케일 (nano-scale) 수정을 위해 고급 이온 밀링 장치를 찾는 사람에게 이상적입니다.
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