판매용 중고 FISCHIONE INSTRUMENTS 1020 #9253905

FISCHIONE INSTRUMENTS 1020은 저온 및 가변 전력 플라즈마 처리, 물리 및 화학 증기 증착을 위해 설계된 자동 건식 에처/애셔 (Dry Etcher/Asher) 이며, 청소 응용 프로그램에도 사용할 수 있습니다. 강력한 고해상도 디지털 프로세싱 컨트롤러와 10 "직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 장착하여 사용자에게 최고의 성능 호환성과 유연성을 제공합니다. 고압, 고온, 청소율 (high-cleaning-rate) 공정을 실행할 수 있으며 다양한 산업 및 연구 응용 프로그램에 사용하기에 적합합니다. 1020에는 2.25 "와이드 챔버 및 2.5" 백사이드 뷰 에치 창이 있으며, 챔버 용량은 최대 24 개별 1 "웨이퍼입니다. 챔버 (chamber) 와 에치 (etch) 창문은 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 조절 가능한 진공 시스템은 황삭 스테이션으로 구성됩니다. 이를 통해 에치 (etch) 프로세스를 면밀히 제어하여 정확한 에치 제어 및 뛰어난 에치 결과를 제공합니다. FISCHIONE INSTRUMENTS 1020의 소스 부분에는 에치 챔버 (etch chamber) 와 에치 창 (etch window) 을 보충하고 프로세스를 계속 진행하는 다양한 옵션이 있습니다. 1020은 디지털 통신 프로토콜 포트와 디지털 제어 신호를 갖춘 신뢰할 수있는 PLC (Programmable Logic Controller) 에 의해 구동되며, 에치 프로세스를 자세히 제어합니다. 또한, 사용자 인터페이스에는 여러 프로세스 제어 (process control) 기능이 있어 사용자가 각 etch 실행의 원하는 매개변수를 미리 결정할 수 있습니다. PLC 는 논리 (logic) 및 모니터링 (monitoring) 기능을 제공하여 etch 챔버의 모든 장비와 프로세스가 제대로 실행되고 있는지 확인합니다. 또한 1020 개에는 2 개의 안전 구성 요소가 추가되어 운영 중 발생할 수있는 사고의 위험을 최소화합니다. 첫 번째는 안전 연결 (Safety Interlock) 으로, 에치 챔버 및 에치 창에 대한 무단 액세스를 방지하도록 설계되었습니다. 두 번째는 E-STOP 안전 스위치 (E-STOP safety switch) 로, 비상 사태 또는 예기치 않은 사고가 발생할 경우 기계를 종료하도록 설계되었습니다. FISCHIONE INSTRUMENTS 1020은 연구 및 제조 프로세스에 이상적인 에처/애셔입니다. 이 프로토콜은 신뢰할 수 있는 PLC 및 디지털 통신 프로토콜을 통해 효과적으로 작동하며, 백사이드 뷰 에치 창 (etch window) 과 챔버 용량 (chamber capacity) 을 통해 정확한 에칭을 통해 사용자가 우수한 etch 결과를 얻을 수 있습니다. 강력한 디지털 프로세서, 대형 챔버 용량, 조절 가능한 진공 시스템 (vacuum system) 을 갖춘 1020은 산업 및 연구 등급 응용 분야를 위해 설계되었습니다.