판매용 중고 FISCHIONE INSTRUMENTS 1020 #293690878

FISCHIONE INSTRUMENTS 1020은 고급 etcher/asher 장치입니다. 다른 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스뿐만 아니라 플라즈마 에칭을 용이하게 하기 위해 개발 된 1020은 프로세스를 빠르고, 효율적이며, 안정적으로 만드는 일련의 기능을 제공합니다. FISCHIONE INSTRUMENTS 1020은 에칭/애싱 챔버, 플라즈마 소스 및 RF 전원 발전기를 하나의 통합 디자인으로 결합한 통합 장비입니다. 이를 통해 정확한 제어 및 모니터링을 통해 완전 자동 에칭/어싱 프로세스가 가능합니다. 이 시스템은 프로세스 반복성 (process repeativility) 을 신속하게 달성하고 연구 및 생산 응용에 필요한 충분한 균일성을 제공 할 수 있습니다. 1020 년의 에칭/애싱 챔버 (etching/ashing chamber) 는 양수 및 음수 애싱 작업을 모두 수용하기 위해 이중 창으로 설계되었습니다. 첫 번째 창은 양수 에칭/어싱 프로세스에 사용할 수 있고, 두 번째 창은 음수 에칭 프로세스를 수행할 수 있습니다. 이 프로세스는 창 (window) 뷰포트를 통해 모니터링할 수 있으며, 실험 중에 제품을 시각적으로 검사할 수 있습니다. FISCHIONE INSTRUMENTS 1020에는 정밀한 가스 전달 제어를위한 세라믹 스로틀 밸브가 포함되어 있으며, 조절 가능한 압력 범위를 제공합니다. 이 장치는 1.0 ~ 20 sccm 사이의 조절 가능한 가스 흐름 속도로 작동하며, 지속적인 흐름 속도 조정을위한 디지털 가스 흐름 측정기 (digital gas flow meter) 를 갖추고 있습니다. 1020은 RF, DC, 펄스 DC (HFXE) 및 펄스 마그네트론 소스 (HFE) 를 포함한 다양한 플라즈마 소스 옵션을 제공합니다. RF 전원 발전기는 20kW 출력의 전력을 공급할 수 있으며, 이를 통해 전력과 공정 제어를 완벽하게 수행할 수 있습니다. 또한, FISCHIONE INSTRUMENTS 1020에는 진단 및 장비 보호 기능이 포함되어 있어, 실험 중에 기계가 안전하고 작동하는지 확인합니다. 1020 은 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 적합하며 더 큰 생산 도구 설계에 통합 될 수 있습니다. 신뢰할 수 있는 생산성, 균일성, 일관성을 제공하여 다양한 업계/연구 프로젝트에 적합합니다. 이 장치는 플라즈마 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 위한 완벽한 솔루션을 제공하며 안정적이고 정확한 결과를 보장합니다.