판매용 중고 FEI / MICRION Vectra Vision #9200449
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ID: 9200449
Particle beam system
I-Gun type: 5nm Column
Beam current: 3pA~931pA (50kV)
Depo system:
Tungsten
Tmcts
O2
H2O
Cl2 / Br2
XeF2
Vacuum type:
Turbomolecular pump
(2) Mechanical pumps
(2) Ion getter pumps
Stage type:
OBIC Laser: 200mm x 200mm
Loadlock type: Loadlock system
PS / OS: IBM RISC System / 6000 43P Model 150 computer / AIX 4.3
Detector: MCP.
FEI/MICRION Vectra Vision은 넓은 지역의 나노 연마 머시닝 프로세스를 위해 다양한 재료를 제조하도록 설계된 이온 밀링 장비입니다. 고정밀 밀링, 고급 자동화, 스마트 프로세스 컨트롤러를 결합하여 처리량과 성능을 극대화합니다. FEI Vectra Vision은 생산성과 정확성을 높이기 위해 설계된 여러 가지 기능을 제공합니다. MICRION Vectra Vision의 주요 구성 요소는 자기 정지, 프로그래밍 가능한 밀링 헤드, 트위저 스타일 마스크 로더, 모션 제어 로터리 플래튼 및 통합 플라즈마 소스 세트입니다. 고정밀 밀링 헤드는 금속, 폴리머, 비정질 재료, 반도체 등 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 통합 플라즈마 소스는 액체 전방 조건이 필요하지 않은 이온 밀링을 허용합니다. 모션 제어 로터리 플래튼은 +/-2.2 äm의 표면 등록 정확도와 최대 16,500 rpm의 회전 속도를 제공합니다. 마지막으로, 스티저 스타일 마스크 로더는 마스크 및 기판을 밀의 챔버 안팎으로 빠르고 정확하게 전송하도록 설계되었습니다. Vectra Vision은 강력한 자동화, 제어 및 소프트웨어 기능도 갖추고 있습니다. 시스템의 TrueView 소프트웨어 제품군 (TrueView Software Suite) 은 기판 로딩 및 포지셔닝에서 영역 선택 및 밀링에 이르기까지 전체 프로세스를 모니터링하도록 설계되었으며, 생산성과 정확성을 극대화할 수 있도록 최적화되었습니다. 또한 FEI/MICRION Vectra Vision의 모듈식 아키텍처와 통합 맞춤형 컨트롤러는 여러 밀링 주기에서 안정적이고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 또한 이 장치의 모듈성을 통해 기본 기능에서 고급 기능으로 쉽게 확장할 수 있습니다. 마지막으로 FEI Vectra Vision에는 사용자 보호를위한 최신 안전 기능이 장착되어 있습니다. Advanced Laser 및 Collimator 감지 기술 (Advanced Laser and Collimator sensing technologies) 은 인력이 위험한 작업 조건에 노출되지 않도록 실시간으로 피드백을 제공합니다. 또한, 이 기계는 OSHA 및 ANSI 표준을 포함한 모든 적용 가능한 안전 규정을 준수합니다. 결론적으로, MICRION Vectra Vision은 넓은 면적의 나노 연마 머시닝 프로세스를 위해 설계된 고급 이온 밀링 도구입니다. 고정밀 밀링, 고급 자동화, 스마트 프로세스 컨트롤러를 결합하여 처리량과 성능을 극대화합니다. 또한, 이 자산은 사용자 보호를 위한 강력한 안전 기능을 갖추고 있습니다.
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