판매용 중고 FEI / MICRION 9500 EX #9383328
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ID: 9383328
Focused Ion Beam (FIB) system
Stage type: 200 mm x 200 mm
Load lock system
IBM RISC System
6000 43P 140 Computer
MCP Detector
I-Gun type: column 5 nm
Beam current: 3 pA - 931 pA (50 kV)
Depo system:
Tungsten
Tmcts
O2
H2O
Cl2 / Br2
XeF2
Vacuum pump:
Turbo molecular pump
(2) Mechanical pumps
(2) Ion getter pumps.
FEI/MICRION 9500 EX는 TEM (Transmission Electron Microscopy) 에 의한 분석을위한 큰 샘플을 준비하도록 설계된 고급 이온 밀링 장비입니다. 이온 밀링 시스템은 탁월한 성능, 정확성, 안정성, 편의성이 필요한 사용자에게 적합합니다. FEI 9500 EX는 직경이 최대 6 "인 큰 샘플을 수용 할 수 있습니다. 큰 샘플 크기를 사용하면 한 단계에서 더 큰 ROI (Region of Interest) 를 밀링할 수 있습니다. MICRION 9500 EX에는 또한 '스핀 에치 (spin-etch)' 기능이 있으며, 이는 직경이 최대 3.6 "인 더 큰 샘플의 빠른 에칭을 가능하게합니다. 9500 EX는 인체 공학적 설계를 특징으로하며 밀링 과정에서 뛰어난 편안함을 제공합니다. 기울기 (tilting) 및 이동식 챔버 (removable chamber) 를 사용하면 샘플에 쉽게 액세스할 수 있으므로 다양한 크기와 유형의 샘플을 밀링하기 위해 단위를 쉽게 설정하고 해체할 수 있습니다. FEI/MICRION 9500 EX는 첨단 네거티브 이온 소스와 함께 정교한 관성 집중 기술을 사용하여 설계되었습니다. 이 첨단 기술은 탁월한 성능과 안정성을 제공하므로, 사용자가 가장 정확하고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 정교한 관성 포커싱 머신은 또한 고급 빔 컨트롤 (beam control) 과 다중 빔 모니터링 (multiple beam monitoring) 기술을 갖추고 있으며, 사용자가 빔을 정확하게 정렬하고 최대 샘플 준비를 위해 포커스를 조정할 수 있습니다. 통합된 확대/이미지 캡처 툴은 자동화된 연속 이미징 및 집중을 용이하게 합니다. 이 기능을 사용하면 자동으로 포커스를 조정하고 밀링 프로세스를 따라 샘플의 고해상도 이미지 (High-resolution image) 를 수집할 수 있습니다. 자동화된 이미징 시스템은 또한 밀링 과정에서 이온 빔 (ion beam) 의 잠재적 문제를 해결합니다. 최대 안전성을 보장하고 샘플 오염을 방지하기 위해 FEI 9500 EX에는 고급 가스 흐름 모델이있는 통합 펌핑 에셋이 있습니다. 이 장비는 밀링 챔버 (milling chamber) 에서 공기 매개 입자를 추출하여 샘플을 추가 오염으로부터 보호함으로써 작동합니다. MICRION 9500 EX는 넓은 빔 이온 (E-Beam) 에서 집중형 빔 이온 (FIB) 에 이르기까지 다양한 이온 빔 옵션을 제공합니다. 광범위한 이온 전류 (ion current) 를 사용할 수 있으며, 밀링 프로세스 동안 사용자가 정밀도, 정확도를 높일 수 있습니다. 9500 EX는 또한 유럽 및 기타 국제 시장에서 사용할 수있는 CE 마크의 인증을 받았습니다. 전반적으로 FEI/MICRION 9500 EX는 TEM 용 정확한 샘플 준비를 위해 설계된 고급 이온 밀링 시스템입니다. 첨단 기술, 대형 샘플 크기, 자동화된 이미징 장치 (Automated Imaging Unit) 는 탁월한 성능과 편리성을 필요로 하는 연구원에게 이상적인 선택입니다.
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