판매용 중고 FEI / MICRION 2500 #293635763

FEI / MICRION 2500
제조사
FEI / MICRION
모델
2500
ID: 293635763
Focused Ion Beam (FIB) system.
FEI/MICRON FEI/MICRION 2500은 대형 샘플 및 기판의 에칭 및 머시닝을 위해 설계된 고급 이온 밀링 장비입니다. 특히 큰 반도체 샘플과 웨이퍼에서 초고화질 (Ultra-High) 종횡비를 에칭하고 만드는 데 유용합니다. MICRION/MICRON FEI 2500은 직관적이고 간단한 사용자 인터페이스를 통해 사용 편의성을 향상시키는 통합 설계입니다. 통합 로드 잠금 (load-lock) 시스템은 샘플을 위한 정밀 환경을 제공하며 수동 로드 및 언로드가 필요 없습니다. 이 장치에는 고성능 진공기가 장착되어 있어, 샘플 안정성과 입자 제어가 뛰어납니다. FEI/MICRION/MICRON MICRION 2500은 이온 밀링 및 에칭에 집중된 이온 빔 (FIB) 을 사용하여 서브 아이콘 기능 크기와 종횡비를 만듭니다. 이 도구에는 신뢰할 수있는 빔 제어 및 재생성을 위해 이온 소스가 장착되어 있습니다. 자산은 다양한 에너지와 현재 밀도를 제공 할 수 있으며, 이는 필요에 따라 미세 조정 할 수 있습니다. 이온 프로브 (ion probe) 는 단일 에칭 단계에서 더 두꺼운 샘플을 밀링 할 수 있도록 z축에서 최대 300 um 이동할 수 있습니다. FEI/MICRON 2500에는 최고 품질의 에칭 결과를 제공하는 맞춤형 자동 샘플 스테이지 및 소프트웨어 제품군이 있습니다. 빔 전류 (beam current), 펄스 너비 (pulse width) 및 틸트 (tilt) 를 포함하여 프로세스의 다른 측면을 프로그래밍 할 수 있습니다. 온도 보상 (temperation compensation) 기능을 사용하면 식각 과정에서 꾸준한 온도를 유지함으로써 재생성을 보장할 수 있습니다. 이 모델은 안정성이 높으며, 안전한 닫힌 챔버 환경에서 24 시간 작동을 제공합니다. 내장형 안전 (Safety) 기능은 잠재 사용자 오류를 최소화하고 장비는 완벽한 서비스 및 확장성을 제공하여 장기적인 신뢰성을 보장합니다. MICRION/MICRON FEI/MICRION 2500은 반도체, MEMS 및 나노 기술 산업의 고 처리량 에칭, 머시닝 및 백 에칭에 이상적입니다. 또한 강력한 기능을 통해 복잡한 구성 요소와 디바이스의 연구, 프로토타입 작성, 생산에 매우 적합합니다.
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