판매용 중고 FEI Helios #9251390
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FEI Helios는 나노 스케일 제작의 일종 인 nanolithography에 사용되는 이온 밀링 장비입니다. 이 도구는 반도체 및 박막 (예: 그래 핀 및 탄소 나노 튜브) 의 제작에 사용됩니다. 이온 밀링 시스템은 이온 소스, 마그네트론 소스, 이온 빔 광학 (ion beam optics) 및 기판 히터와 같은 많은 주요 구성 요소로 구성됩니다. Helios 이온 밀링 유닛의 이온 소스는 고 에너지 수준의 이온 빔을 생성합니다. "빔 '의" 이온' 은 크기 와 종류 를 조정 하여 원하는 특성 을 제공 할 수 있다. "마그네트론 '원 은" 빔' 을 지향선 으로 형성 하는 데 사용 되는 전자기장 을 생성 하여 "빔 '을 단일 점 이나 면적 에 집중 시키는 능력 을 제공 한다. 이온 빔 광학 (ion beam optics) 은 이온 빔 (ion beam) 의 방향과 에너지 및 각도를 변경하여 이온 빔 (ion beam) 의 정밀한 조작을 가능하게합니다. 마지막으로, 기판 히터 (기판 히터) 는 프로세스가 수행되는 물질을 가열하는 데 사용된다. FEI Helios 기계는 높은 에너지 수준에서 이온으로 재료를 폭격하여 작동합니다. 이 과정을 이온 빔 밀링 (ion beam milling) 이라고하며 레이어별로 재료 레이어를 제거하는 데 사용됩니다. 이 도구는 etching, depositing, patterning 등 다양한 프로세스에 사용할 수 있습니다. 나노 미터 수준의 해상도에 도달 할 수 있으며, 매우 균일 한 표면 구조를 생성 할 수 있습니다. Helios 자산은 나노 스케일 제조 산업의 요구에 적합한 도구입니다. 그것 은 "이온 '광선 을 정밀 하게 조작 할 수 있는, 고도 의 제어 와 정확도 를 제공 한다. 에칭 (etching) 에서 패턴 (patterning) 에 이르기까지 다양한 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. 이 모델의 내구성은 몇 년 동안 사용자에게 서비스를 제공 할 것입니다. FEI Helios는 나노 기술의 탐구와 발전을 추구하는 사람들에게 귀중한 자산입니다.
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